[实用新型]一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置

说明书

本实用新型涉及一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置，属于六氟化钨制备技术领域。所述装置包括回收罐、流化床反应器、吹扫气管、冷凝器、收集罐、压缩机、缓冲罐、含氟混合气罐以及进料机构。六氟化钨制备前，在流化床反应器中匀气盘作用下，吹扫气体可均匀分吹出，吹扫气体将流化床反应器内部进行吹扫并抽真空，制备六氟化钨时，接料盘可避免钨粉沉积在流化床反应器底部无法参与反应，保证钨粉充分反应，并且利用过滤盘将钨粉过滤，避免钨粉随着气体进入第一管道内部，提高了原料的利用率，也使得生成的六氟化钨纯度高，六氟化钨制备后，利用吹扫气管的吹扫气体进行脉冲式反吹，使附在过滤盘上的钨粉被吹下，回收罐进行回收，减少物料浪费。

技术领域

本实用新型涉及一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置，属于六氟化钨制备技术领域。

背景技术

六氟化钨，分子式为WF6，分子量为297.830。无色气体或浅黄色液体，固体为易潮解的白色结晶，在潮湿空气中冒烟。

六氟化钨主要用在电子工业中，尤其在半导体领域中有着十分广泛的应用，是金属钨化学气相沉积工艺的原材料，能很大程度避免放射性杂质α粒子在记忆电路中的软误差。

现有技术中，工业上常用固定床反应器进行六氟化钨的制备反应，但存在以下几种问题：

1.在制备反应的过程中，生成的气体易夹带钨粉进入冷凝器的内部，这样会降低制备的质量，也造成了物料的浪费；

2.在制备反应前，往往不能够充分将流化床反应器内进行充分的吹扫，影响制备的效果；

3.在制备反应的过程中，金属钨粉容易沉积在流化床反应器底部无法参与反应，导致金属钨粉的利用率不高。

发明内容

为克服现有技术存在的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置。

为实现本实用新型的目的，提供以下技术方案。

一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置，所述装置包括回收罐、流化床反应器、吹扫气管、冷凝器、收集罐、压缩机、缓冲罐、含氟混合气罐以及进料机构。

回收罐通过连接管道与流化床反应器之间相连通，流化床反应器顶部设有出气口通过第一管道与冷凝器相连通，冷凝器与收集罐之间相连通，冷凝器通过第二管道与压缩机相连通，压缩机与缓冲罐之间通过管道相连通，缓冲罐与流化床反应器之间通过第三管道相连通，含氟混合气罐通过第四管道与第三管道相连通；流化床反应器的左侧设置有进料机构，进机构通过输料口与流化床反应器连通。第一管道的侧壁设置有吹扫气管，吹扫气管与吹扫气罐连接，所述吹扫气为氮气或惰性气体。

吹扫气管、第一管道、第二管道、第三管道以及第四管道上均设置有电磁阀。

流化床反应器包括自下而上依次连接的流化床反应器下壳体、流化床反应器中壳体以及流化床反应器上壳体；流化床反应器下壳体的内部设置有匀气盘，匀气盘下方一侧侧壁上流设有进气口，另一侧侧壁与第三管道相连通；流化床反应器中壳体的内部设置有接料盘，流化床反应器上壳体的内部设置有过滤盘，输料口位于流化床反应器中壳体接料盘上方侧壁，位于过滤盘下方。

优选进料机构包括氮气罐、定量料斗以及储料罐，储料罐的出料端与定量料斗相通，定量料斗的出料端通过输料管与流化床反应器中壳体的接料盘上方相连通，氮气罐的输出端与输料管相连通。

优选回收罐、流化床反应器、吹扫气管、第一管道、收集罐、缓冲罐、第三管道、第四管道以及含氟混合气罐分别独立采用不锈钢、镍或蒙乃尔合金材料制备。

本实用新型所述的一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置的工作方式如下：

1)吹扫清理：反应前将吹扫气体通过吹扫气管进入流化床反应器的内部，同时在匀气盘的作用下，吹扫气体能够均匀的分吹出，以吹扫气体将流化床反应器的内部进行吹扫并抽真空清理干净。