[实用新型]蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括蒸发源装置和工作平台，所述工作平台设置有贯穿其上下两侧面的多个蒸镀孔，多个所述蒸镀孔沿第一方向间隔设置，所述蒸发源装置位于所述工作平台的下方，所述工作平台的上侧面设置有温度计和用于运送掩模组件的驱动装置，所述驱动装置驱动所述掩模组件沿所述第一方向运动，并使所述掩模组件与所述蒸镀孔选择性正对，所述蒸发源装置产生的蒸镀气体能够穿过所述蒸镀孔流至所述掩模组件并形成薄膜结构，所述温度计用于测量所述蒸镀气体的温度。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述温度计为多个，多个所述温度计沿所述第一方向间隔设置。

3.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，沿所述第一方向，至少在所述工作平台的中部位置和两端位置设置有所述温度计。

4.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述驱动装置包括沿第二方向间隔设置的滚轮组，所述滚轮组包括多个沿所述第一方向间隔设置的滚轮，所述掩模组件放置于所述滚轮上，且所述滚轮用于驱动所述掩模组件运动，所述第二方向与所述第一方向垂直。

5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述工作平台的上侧面还设置有散热板，所述散热板安装于相邻两个所述蒸镀孔之间，所述温度计设置于所述散热板的端部。

6.根据权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，所述散热板与所述掩模组件间隔，所述散热板与所述掩模组件之间的间距为L，L＝50～100mm。

7.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述温度计的量程为0～200℃。

8.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述工作平台的上侧面还设置有安装支架，所述温度计可拆卸设置于所述安装支架上。

9.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，所述安装支架包括竖直设置的第一安装板和水平设置的第二安装板，所述温度计安装于所述第二安装板上，所述第一安装板上设置有多个沿竖直方向间隔设置的连接孔，所述第二安装板通过紧固件安装于所述连接孔。

10.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括蒸镀腔室，所述掩模组件位于所述蒸镀腔室内。