[实用新型]一种半导体有害气体监控装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体有害气体监控装置，包括底板，所述底板的两侧底部固定连接有万向轮，所述底板的顶部固定连接有立柱，所述立柱的顶部间隙固定连接有抽屉，本实用新型涉及电力设备技术领域。该一种半导体有害气体监控装置，达到了整体便于移动，在托盘的上方设置主体，且抽屉的上方设置显示器，利用主体对空气进行检查，并通过显示器进行显示，为现有已知技术，设置限位装置，便于对限位杆进行卡接，进而改变托盘的位置，方便工作人员调节主体的高度，便于对不同高度的气体进行检查，提高使用范围，设置支撑板，便于对主体进行夹持，提高主体稳定性，进而提高主体使用寿命，满足使用需求的目的。

技术领域

本实用新型涉及电力设备领域，更具体地说，涉及一种半导体有害气体监控装置。

背景技术

半导体制造工艺中应用于沉积及蚀刻工序等处后排放的废气大部分包含有害物质，因此通过适当的处理予以净化后排放。由于半导体加工过程中，产生的有害气体容易泄漏，影响工作人员的身体健康，需要对加工车间进行实时移动监测，利用GMS在线监控系统，在设备PM保养时防止特气管道气体残留对人身伤害和产品质量事故环境中微量气体分析上提供可靠安全数据分析和安全预警。目前，现有的半导体有害气体监控装置，结构相对固定，不便于工作人员进行移动使用，使用范围有限，同时不便于调节检测仪的高度，不方便工作人员进行操作，无法满足使用需求。

实用新型内容

1．要解决的技术问题

针对现有技术中存在的现有的半导体有害气体监控装置，结构相对固定，不便于工作人员进行移动使用，使用范围有限，同时不便于调节检测仪的高度，不方便工作人员进行操作，无法满足使用需求的问题，本实用新型的目的在于提供一种半导体有害气体监控装置，它可以实现底板、万向轮、立柱、抽屉、限位杆、套筒、托盘、主体、限位装置与显示器组成一个整体，整体便于移动，在托盘的上方设置主体，且抽屉的上方设置显示器，利用主体对空气进行检查，并通过显示器进行显示，为现有已知技术，设置限位装置，便于对限位杆进行卡接，进而改变托盘的位置，方便工作人员调节主体的高度，便于对不同高度的气体进行检查，提高使用范围，设置支撑板，便于对主体进行夹持，提高主体稳定性，进而提高主体使用寿命，满足使用需求。

2.技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种半导体有害气体监控装置，包括底板，所述底板的两侧底部固定连接有万向轮，所述底板的顶部固定连接有立柱，所述立柱的顶部间隙固定连接有抽屉，所述底板与抽屉的间隙固定连接有限位杆，所述限位杆套接有套筒，所述套筒的间隙固定连接有托盘，所述托盘的上方设置有主体，所述托盘的底部设置有限位装置，所述限位装置与限位杆卡接，所述抽屉的顶部设置有显示器，所述主体与显示器电性连接。

优选的，所述托盘的内壁固定连接有复位弹簧，所述托盘通过复位弹簧固定连接有支撑板，所述支撑板与主体侧壁相对应。

优选的，所述立柱的表面固定连接有缓冲垫。

优选的，所述限位装置包括固定块，所述固定块与托盘底部固定连接，所述固定块滑动连接有挤压杆，所述挤压杆的数量为两个，所述挤压杆的端部固定连接有挡板，所述挡板的表面固定连接有拉环，所述挤压杆远离挡板的一端固定连接有挤压块，所述挤压块的侧壁固定连接有支撑弹簧，所述支撑弹簧与挤压杆套接，所述挤压块通过支撑弹簧与固定块相连接，所述挤压块的表面固定连接有卡杆，所述限位杆的表面设置有卡槽，所述卡杆与卡槽卡接。

3.有益效果