[实用新型]一种半导体有害气体监控装置有效
申请号: | 202023029898.5 | 申请日: | 2020-12-16 |
公开(公告)号: | CN213777026U | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 邓志涛;汤晴峰 | 申请(专利权)人: | 上海涵唐自动化科技有限公司 |
主分类号: | F16M11/04 | 分类号: | F16M11/04;F16M11/16;F16M11/42;F16F15/02;G01N33/00 |
代理公司: | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人: | 王程远 |
地址: | 200431 上海市宝山*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 有害 气体 监控 装置 | ||
1.一种半导体有害气体监控装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的两侧底部固定连接有万向轮(2),所述底板(1)的顶部固定连接有立柱(3),所述立柱(3)的顶部间隙固定连接有抽屉(4),所述底板(1)与抽屉(4)的间隙固定连接有限位杆(5),所述限位杆(5)套接有套筒(6),所述套筒(6)的间隙固定连接有托盘(7),所述托盘(7)的上方设置有主体(8),所述托盘(7)的底部设置有限位装置(9),所述限位装置(9)与限位杆(5)卡接,所述抽屉(4)的顶部设置有显示器(10),所述主体(8)与显示器(10)电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体有害气体监控装置,其特征在于:所述托盘(7)的内壁固定连接有复位弹簧(12),所述托盘(7)通过复位弹簧(12)固定连接有支撑板(13),所述支撑板(13)与主体(8)侧壁相对应。
3.根据权利要求1所述的一种半导体有害气体监控装置,其特征在于:所述立柱(3)的表面固定连接有缓冲垫(11)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体有害气体监控装置,其特征在于:所述限位装置(9)包括固定块(91),所述固定块(91)与托盘(7)底部固定连接,所述固定块(91)滑动连接有挤压杆(92),所述挤压杆(92)的数量为两个,所述挤压杆(92)的端部固定连接有挡板(93),所述挡板(93)的表面固定连接有拉环(94),所述挤压杆(92)远离挡板(93)的一端固定连接有挤压块(95),所述挤压块(95)的侧壁固定连接有支撑弹簧(96),所述支撑弹簧(96)与挤压杆(92)套接,所述挤压块(95)通过支撑弹簧(96)与固定块(91)相连接,所述挤压块(95)的表面固定连接有卡杆(97),所述限位杆(5)的表面设置有卡槽(98),所述卡杆(97)与卡槽(98)卡接。
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