[实用新型]一种连续多腔体真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种连续多腔体真空镀膜机，包括进片腔、镀膜腔和出片腔，所述进片腔的出料口与镀膜腔的进料口连通，所述镀膜腔的出料口与出片腔的进料口连通；所述进片腔的进料口设有第一插板阀，所述进片腔与镀膜腔的连通处设有第二插板阀，所述镀膜腔与出片腔的连通处设有第三插板阀，所述出片腔的出料口设有第四插板阀；所述进片腔、镀膜腔和出片腔内均设有用于输送物料的传送机构；所述真空镀膜机还包括抽真空装置和加热装置。本实用新型可实现对镀制片在相邻真空腔室内的传送，自动化程度高，生产效率高。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体是一种连续多腔体真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

现有的真空镀膜机按腔体数量可分为两种：

其一是单腔体真空镀膜机，单腔体蒸发镀膜机，可蒸镀发杂膜系，主要应用于光学系统、光通信等；单腔体磁控溅射机，可镀制简单颜色膜，主要用于装饰、合色棱镜等；单腔体镀膜机在镀制件进出时需要。

其二是多腔体连续镀膜机，目前仅有多腔体溅射机，镀制层数与腔体数量相关，每个腔体单独镀制一种材料，无法做到单腔体复杂膜系镀制。

目前，现有的真空蒸发镀膜工艺均是集中在一个真空室内完成，各步工艺会互相影响，导致镀膜效果差等，在生产过程中，需要多次对整个腔体进行重复抽气，耗时较长，且多需人工放置、调整以及从真空室取出工件，生产效率低。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的问题，提供一种连续多腔体真空镀膜机。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种连续多腔体真空镀膜机，包括进片腔、镀膜腔和出片腔，所述进片腔的出料口与镀膜腔的进料口连通，所述镀膜腔的出料口与出片腔的进料口连通；所述进片腔的进料口设有第一插板阀，所述进片腔与镀膜腔的连通处设有第二插板阀，所述镀膜腔与出片腔的连通处设有第三插板阀，所述出片腔的出料口设有第四插板阀；所述进片腔、镀膜腔和出片腔内均设有用于输送物料的传送机构；所述真空镀膜机还包括抽真空装置和加热装置。

具体地，所述进片腔与镀膜腔的连通处设有第一密封腔，所述第二插板阀活动安装在第一密封腔内；所述出片腔与镀膜腔的连通处设有第二密封腔，所述第三插板阀活动安装在第二密封腔内。本实用新型通过在镀膜腔与进片腔、出片腔的连通处设置密封腔，使得第二插板阀/第三插板阀在开启/关闭的过程中不会影响腔体的真空度，提升了镀膜质量。

进一步地，所述第一密封腔、第二密封腔内均设有驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述第二插板阀/第三插板阀在第一密封腔/第二密封腔内滑动，从而实现第二插板阀/第三插板阀的开启或关闭，即实现所述镀膜腔与进片腔、出片腔的连通或隔离。

具体地，所述驱动机构包括驱动电机或气缸。

具体地，所述抽真空装置包括第一抽真空泵和第二抽真空泵；所述第一抽真空泵安装在进片腔的外壁，与进片腔通过电磁阀连通；所述第二抽真空泵安装在出片腔的外壁，与出片腔通过电磁阀连通。

具体地，所述加热装置包括加热电网，所述加热电网分别布置在进片腔和镀膜腔内，用于对镀制片(物料)进行烘烤，便于镀膜。