[实用新型]一种连续多腔体真空镀膜机有效
| 申请号： | 202023028484.0 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN214655228U | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 王晨辉;易霖 | 申请（专利权）人： | 武汉摩擦力信息技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 徐瑛 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖高新技术开发*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 连续 多腔体 真空镀膜 | ||
1.一种连续多腔体真空镀膜机，其特征在于，包括进片腔、镀膜腔和出片腔，所述进片腔的出料口与镀膜腔的进料口连通，所述镀膜腔的出料口与出片腔的进料口连通；所述进片腔的进料口设有第一插板阀，所述进片腔与镀膜腔的连通处设有第二插板阀，所述镀膜腔与出片腔的连通处设有第三插板阀，所述出片腔的出料口设有第四插板阀；所述进片腔、镀膜腔和出片腔内均设有用于输送物料的传送机构；所述真空镀膜机还包括抽真空装置和加热装置。
2.根据权利要求1所述的一种连续多腔体真空镀膜机，其特征在于，所述进片腔与镀膜腔的连通处设有第一密封腔，所述第二插板阀活动安装在第一密封腔内；所述出片腔与镀膜腔的连通处设有第二密封腔，所述第三插板阀活动安装在第二密封腔内。
3.根据权利要求2所述的一种连续多腔体真空镀膜机，其特征在于，所述第一密封腔、第二密封腔内均设有驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述第二插板阀/第三插板阀在第一密封腔/第二密封腔内滑动。
4.根据权利要求3所述的一种连续多腔体真空镀膜机，其特征在于，所述驱动机构包括驱动电机或气缸。
5.根据权利要求1所述的一种连续多腔体真空镀膜机，其特征在于，所述抽真空装置包括第一抽真空泵和第二抽真空泵；所述第一抽真空泵安装在进片腔的外壁，与进片腔通过电磁阀连通；所述第二抽真空泵安装在出片腔的外壁，与出片腔通过电磁阀连通。
6.根据权利要求1所述的一种连续多腔体真空镀膜机，其特征在于，所述加热装置包括加热电网，所述加热电网分别布置在进片腔和镀膜腔内。
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