[实用新型]一种硅片搬运机构及探针台

说明书

本实用新型公开了一种硅片搬运机构及探针台。一种硅片搬运机构包括,第一吸附部；设置于第一吸附部、两端分别连通第一伯努利吸盘和第二伯努利吸盘的第一导气通道；所述第一导气通道的等距中心连通于第一供气通道；以及应用所述硅片搬运机构的探针台。首先启动的第一伯努利吸盘和第二伯努利吸盘气压同步且稳定，从而增强硅片搬运机构工作的稳定性，降低硅片因受力不均引起损坏的风险。

技术领域

本实用新型涉及一种硅片搬运机构及探针台。

背景技术

在对单片硅片或其它片状材料进行位置转移时需要使用搬运机构，随着硅片越来越薄，硅片表面的翘曲度越来越大，从而采用常规的真空吸附方式搬运硅片容易造成硅片损坏。

实用新型内容

为改善上述技术问题，本实用新型提出一种硅片搬运机构及探针台。

本实用新型的技术方案为：一种硅片搬运机构包括，

第一吸附部；

设置于第一吸附部、两端分别连通第一伯努利吸盘和第二伯努利吸盘的第一导气通道；所述第一导气通道的等距中心连通于第一供气通道。

进一步的，第二导气通道，设置于第一吸附部、连通第三伯努利吸盘且连通第一供气通道；

第一供气通道至第一伯努利吸盘的距离小于第一供气通道至第三伯努利吸盘的距离。

进一步的，所述第一导气通道包括第一导气沟槽和第一密封板；

第一供气通道包括第二导气沟槽和第二密封板；

所述第一导气沟槽和第二导气沟槽分布于第一吸附部两侧。

进一步的，第二吸附部，以及设置于第二吸附部上的第四伯努利吸盘和第五伯努利吸盘；

所述第一伯努利吸盘、第二伯努利吸盘、第四伯努利吸盘和第五伯努利吸盘沿圆形分布。

进一步的，所述第四伯努利吸盘和第五伯努利吸盘分别位于第三导气通道两端，且第三导气通道的等距中心连通于第二供气通道。

进一步的，所述第一吸附部和第二吸附部一体成型。

进一步的，所述第一吸附部和第二吸附部均安装于安装本体。

进一步的，所述第一伯努利吸盘、第二伯努利吸盘、第四伯努利吸盘和第五伯努利吸盘位于同侧。

一种探针台，所述探针台包括上述的硅片搬运机构。

进一步的，所述探针台包括多个硅片搬运机构。

本实用新型的有益效果在于：首先启动的第一伯努利吸盘和第二伯努利吸盘气压同步且稳定，从而增强硅片搬运机构工作的稳定性，降低硅片因受力不均引起损坏的风险。

附图说明

图1为本实用新型硅片搬运机构实施例一；

图2为第一供气通道、第一导气通道及第二导气通道连接关系示意图一；

图3为第一供气通道、第一导气通道及第二导气通道连接关系示意图二；

图4为第一供气通道、第一导气通道及第二导气通道连接关系示意图三；

图5为本实用新型硅片搬运机构实施例二。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案，下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。