[实用新型]一种硅片搬运机构及探针台有效
| 申请号： | 202023007903.2 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN213752668U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 林生财;曾凡贵;刘振辉;王胜利 | 申请（专利权）人： | 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 搬运 机构 探针 | ||
1.一种硅片搬运机构，其特征在于：所述搬运结构包括，
第一吸附部；
设置于第一吸附部、两端分别连通第一伯努利吸盘和第二伯努利吸盘的第一导气通道；所述第一导气通道的等距中心连通于第一供气通道。
2.根据权利要求1所述的硅片搬运机构，其特征在于：
第二导气通道，设置于第一吸附部、连通第三伯努利吸盘且连通第一供气通道；
第一供气通道至第一伯努利吸盘的距离小于第一供气通道至第三伯努利吸盘的距离。
3.根据权利要求2所述的硅片搬运机构，其特征在于：
所述第一导气通道包括第一导气沟槽和第一密封板；
第一供气通道包括第二导气沟槽和第二密封板；
所述第一导气沟槽和第二导气沟槽分布于第一吸附部两侧。
4.根据权利要求1所述的硅片搬运机构，其特征在于：所述搬运结构还包括，
第二吸附部，以及设置于第二吸附部上的第四伯努利吸盘和第五伯努利吸盘；
所述第一伯努利吸盘、第二伯努利吸盘、第四伯努利吸盘和第五伯努利吸盘沿圆形分布。
5.根据权利要求4所述的硅片搬运机构，其特征在于：
所述第四伯努利吸盘和第五伯努利吸盘分别位于第三导气通道两端，且第三导气通道的等距中心连通于第二供气通道。
6.根据权利要求5所述的硅片搬运机构，其特征在于：
所述第一吸附部和第二吸附部一体成型。
7.根据权利要求5所述的硅片搬运机构，其特征在于：
所述第一吸附部和第二吸附部均安装于安装本体。
8.根据权利要求5所述的硅片搬运机构，其特征在于：
所述第一伯努利吸盘、第二伯努利吸盘、第四伯努利吸盘和第五伯努利吸盘位于同侧。
9.一种探针台，其特征在于：所述探针台包括权利要求1-8任意一项所述的硅片搬运机构。
10.根据权利要求9所述的探针台，其特征在于：所述探针台包括多个硅片搬运机构。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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