[实用新型]曝光装置有效

专利信息
申请号: 202023005674.0 申请日: 2020-12-14
公开(公告)号: CN213934538U 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 孙万华;周金东;揭海欢 申请(专利权)人: 南昌欧菲显示科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京恒博知识产权代理有限公司 11528 代理人: 范胜祥
地址: 330013 江西省南昌*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 曝光 装置
【说明书】:

本申请公开了一种曝光装置,曝光装置包括第一光罩以及视觉定位组件,第一光罩包括曝光区以及设置于曝光区外围的非曝光区,曝光区的尺寸可调节以用于与不同待曝光元件的尺寸相适配,曝光区具有第一待识别标识,视觉定位组件包括第一驱动件以及设置于第一驱动件上的视觉定位件,第一驱动件配置成可带动视觉定位件运动,以使视觉定位件可对不同尺寸的曝光区上所对应的不同位置的第一待识别标识进行识别,该设计能够对不同尺寸的待曝光元件进行曝光,以提升曝光装置的适用性。

技术领域

本申请涉及触控显示技术领域,尤其涉及一种曝光装置。

背景技术

采用黄光工艺加工触控面板的工艺流程包括曝光-显影-蚀刻,其中,在曝光工艺流程中,通常将待曝光元件(例如涂布有光敏材料涂布的导电玻璃)放置在曝光平台上,再利用紫外光线穿过特定尺寸的光罩对特定尺寸的待曝光元件进行曝光,而无法对不同尺寸的待曝光元件进行曝光,适用范围小。

实用新型内容

本申请实施例提供一种曝光装置,其能够对不同尺寸的待曝光元件进行曝光,以提升曝光装置的适用性。

第一方面,本申请实施例提供了一种曝光装置;该曝光装置包括第一光罩以及视觉定位组件,第一光罩包括曝光区以及设置于曝光区外围的非曝光区,曝光区的尺寸可调节以用于与不同待曝光元件的尺寸相适配,曝光区具有第一待识别标识,视觉定位组件包括第一驱动件以及设置于第一驱动件上的视觉定位件,第一驱动件配置成可带动视觉定位件运动,以使视觉定位件可对不同尺寸的曝光区上所对应的不同位置的第一待识别标识进行识别。

基于本申请实施例的曝光模组,第一光罩的曝光区的尺寸可调节并设计成与不同待曝光元件的尺寸相适配,且设计人员根据曝光区的尺寸通过第一驱动件将视觉定位件调整至合适的位置,以使视觉定位件能够对位于不同尺寸的曝光区上的第一待识别标识进行识别,曝光区的尺寸改变搭配视觉定位件的位置可调节设计,以使曝光装置能够对不同尺寸的待曝光元件进行曝光,来提升曝光装置的适用性。

在其中一些实施例中,第一光罩的数量至少为两个,至少两个第一光罩的曝光区的尺寸不相同,以用于对不同尺寸的待曝光元件进行曝光。

基于上述实施例,不同尺寸的曝光元件用具有对应的曝光区尺寸的第一光罩来曝光,达到提升曝光装置的适用性的目的。

在其中一些实施例中,第一驱动件包括驱动电机以及延长杆,延长杆与驱动电机的主轴固定连接,视觉定位件设置于延长杆上。

基于上述实施例,通过将延长杆设置在驱动电机的主轴上,延长杆相当于延长了主轴的长度,以使得第一光罩的曝光区的尺寸与小尺寸的待曝光元件相适配时,视觉定位件能够对对应曝光区上的第一待识别标识进行有效识别。

在其中一些实施例中,延长杆具有多个用于安装视觉定位件的安装位,视觉定位件可通过安装在不同的安装位以实现视觉定位件与延长杆之间位置的相对改变。

基于上述实施例,通过在延长杆上设计多个安装位,视觉定位件可根据实际第一光罩的曝光区的尺寸来安装在不同的安装位上,以使视觉定位件能够适应更多的第一光罩的曝光区的尺寸,从而达到进一步增强该曝光装置的适用性的效果。

在其中一些实施例中,延长杆具有多个安装孔,安装孔内设有实现视觉定位件与延长杆之间位置的相对固定的紧固件。

基于上述实施例,采用紧固件配合安装孔的方式类实现视觉定位件与延长杆之间位置的相对固定,降低了视觉定位件的安装难度。

在其中一些实施例中,多个安装孔沿延长杆的长度方向均匀等间隔设置。

基于上述实施例,由于相邻两安装孔之间的间距相等,在将视觉定位件从其中一安装孔移动到任意另一安装孔上,不需要测量便可得知视觉定位件相对于延长杆移动的距离,降低了视觉定位件的安装难度。

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