[实用新型]曝光装置有效

专利信息
申请号: 202023005674.0 申请日: 2020-12-14
公开(公告)号: CN213934538U 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 孙万华;周金东;揭海欢 申请(专利权)人: 南昌欧菲显示科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京恒博知识产权代理有限公司 11528 代理人: 范胜祥
地址: 330013 江西省南昌*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 曝光 装置
【权利要求书】:

1.一种曝光装置,其特征在于,包括:

第一光罩,包括曝光区以及设置于所述曝光区外围的非曝光区,所述曝光区的尺寸可调节以用于与不同待曝光元件的尺寸相适配,所述曝光区具有第一待识别标识;及

视觉定位组件,包括第一驱动件以及设置于所述第一驱动件上的视觉定位件,所述第一驱动件配置成可带动所述视觉定位件运动,以使所述视觉定位件可对不同尺寸的所述曝光区上所对应的不同位置的所述第一待识别标识进行识别。

2.如权利要求1所述的曝光装置,其特征在于,

所述第一光罩的数量至少为两个,至少两个所述第一光罩的所述曝光区的尺寸不相同,以用于对不同尺寸的所述待曝光元件进行曝光。

3.如权利要求1所述的曝光装置,其特征在于,所述第一驱动件包括:

驱动电机;及

延长杆,与所述驱动电机的主轴固定连接,所述视觉定位件设置于所述延长杆上。

4.如权利要求3所述的曝光装置,其特征在于,

所述延长杆具有多个用于安装所述视觉定位件的安装位,所述视觉定位件可通过安装在不同的所述安装位以实现所述视觉定位件与所述延长杆之间位置的相对改变。

5.如权利要求4所述的曝光装置,其特征在于,

所述延长杆具有多个安装孔,所述安装孔内设有实现所述视觉定位件与所述延长杆之间位置的相对固定的紧固件。

6.如权利要求5所述的曝光装置,其特征在于,

所述多个安装孔沿所述延长杆的长度方向均匀等间隔设置。

7.如权利要求1所述的曝光装置,其特征在于,

所述第一待识别标识、所述第一驱动件以及所述视觉定位件的数量均为四个,四个所述第一待识别标识、所述第一驱动件以及所述视觉定位件分别用于对应所述曝光区的四侧,且一个所述第一驱动件带动对应的一个所述视觉定位件运动以识别一个所述第一待识别标识。

8.如权利要求7所述的曝光装置,其特征在于,

所述曝光区呈矩形,四个所述第一待识别标识邻近所述曝光区的四个边角位置处设置。

9.如权利要求1所述的曝光装置,其特征在于,

所述曝光装置还包括第二光罩,所述第二光罩与所述第一光罩扣合,以使所述第一光罩与所述第二光罩之间形成一用于承载所述待曝光元件的密闭空间。

10.如权利要求1所述的曝光装置,其特征在于,

所述曝光装置还包括第二驱动件,所述第二驱动件配置成可驱动所述第一光罩运动,并根据所述视觉定位件的识别结果来调整所述第一光罩的位置。

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