[实用新型]一种自动修正的Micro-LED巨量转移装置

说明书

本实用新型公开了半导体制造领域内的，特别涉及一种自动修正的Micro‑LED巨量转移装置。该自动修正的Micro‑LED巨量转移装置，包括弹性薄膜，其上设置有微器件；间距扩张装置，其位于弹性薄膜的一侧，该间距扩张装置包括一置放弹性薄膜的扩张平台；转移装置，其对着间距扩张装置；以及间距修正装置，其内嵌于扩张平台，包括一矩形修正台，该修正台可相对于扩张平台升降。本实用新型能够修正微器件间距误差，实现微器件间距调整。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种自动修正的Micro-LED 巨量转移装置。

背景技术

微尺寸发光二极管(Micro LED)技术作为终极显示技术具有高亮度、高响应速度、高对比度、高色域、高可靠性、低能耗等诸多优势，将对市场上已有的诸如LCD/OLED的传统显示产品产生深刻影响，近年来吸引了学术界与产业界的广泛关注。在Micro LED显示器件制造过程中，需要将几十万上百万颗的微发光芯片从晶圆转移到电路板上，需要高效率、高精度的巨量转移方案。这也是目前困扰业界的一大难题。

目前产业界采取的有静电力、磁力、流体组装、弹性膜等诸多方案来进行巨量转移操作。然而，这些方法工艺复杂，需要精确对准，且不能调节微器件之间的间距，不同品种产品需要单独设计转移方案，成本及开发周期都极大增加，发明人对此提出了进一步改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种能够修正微器件间距误差，实现微器件间距调整的自动修正的Micro-LED巨量转移装置。

为了实现上述实用新型目的，本实用新型一种自动修正的Micro-LED巨量转移装置采用的如下技术方案：

一种自动修正的Micro-LED巨量转移装置，包括：

弹性薄膜，其上设置有微器件；

间距扩张装置，其位于弹性薄膜的一侧，该间距扩张装置包括一置放弹性薄膜的扩张平台；

转移装置，其对着间距扩张装置；以及

间距修正装置，其内嵌于扩张平台，包括一矩形修正台，该修正台可相对于扩张平台升降。在巨量转移过程中，将微器件通过粘性层粘在弹性膜上，通过控制扩张平台上升的高度来将弹性膜拉伸，粘附在弹性膜上的微器件之间的间距也随之扩大，通过矩形修正台二次扩张弹性膜，进而修正间距误差，实现微器件的间距调整。

本实用新型一种自动修正的Micro-LED巨量转移装置的进一步改进在于，微器件为正装、倒装和垂直结构的LED芯片。

本实用新型一种自动修正的Micro-LED巨量转移装置的进一步改进在于，弹性薄膜可承受机械拉伸扩张，扩张后不回弹，通过粘性层将微器件固定在膜上。

本实用新型一种自动修正的Micro-LED巨量转移装置的进一步改进在于，扩张平台上设置有加热装置和固定弹性薄膜的固定装置。

本实用新型一种自动修正的Micro-LED巨量转移装置的进一步改进在于，固定装置包括一卡环，扩张平台上设置有与卡环匹配的卡槽。

本实用新型一种自动修正的Micro-LED巨量转移装置的进一步改进在于，扩张平台为圆形平台，其一侧设置有控制扩张平台高度的气缸。

本实用新型一种自动修正的Micro-LED巨量转移装置的进一步改进在于，转移装置包括加热台和与弹性薄膜匹配压合装置。

本实用新型一种自动修正的Micro-LED巨量转移装置的进一步改进在于，压合装置包括气缸和带有缓冲层的下压台。

本实用新型一种自动修正的Micro-LED巨量转移装置的进一步改进在于，矩形修正台通过伸缩件连接于扩张平台，伸缩件为电推杆、液压缸、气缸中的一种或几种。