[实用新型]一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机有效
| 申请号: | 202022960763.4 | 申请日: | 2020-12-09 |
| 公开(公告)号: | CN213459665U | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
| 发明(设计)人: | 夏清波 | 申请(专利权)人: | 襄阳市众力电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 441002 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 晶闸管 芯片 台面 多工位 旋转 腐蚀 | ||
1.一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机,包括工作底板(1),其特征在于:所述工作底板(1)的上端安装有防护箱(2),所述工作底板(1)的上端设有旋转台(3),所述工作底板(1)的下端安装有旋转电机(26),所述旋转电机(26)与工作底板(1)通过轴承连接,所述旋转电机(26)与旋转台(3)通过联轴器连接,所述工作底板(1)的上端安装有第一挡板(4)和第二挡板(5),所述第一挡板(4)和第二挡板(5)与工作底板(1)焊接连接,所述旋转台(3)下端面远离旋转电机(26)的一侧安装有第三挡板(13),所述第三挡板(13)与旋转台(3)固定连接,所述旋转台(3)下端面远离旋转电机(26)的一侧设置有防渗槽(12),所述旋转台(3)的上端安装有防腐吸盘(8),所述防腐吸盘(8)远离旋转电机(26)的一侧安装有固定卡板(7),所述防腐吸盘(8)靠近旋转电机(26)的一侧安装有固定安装板(10),所述固定安装板(10)靠近旋转电机(26)的一侧安装有卡紧弹簧(11),所述卡紧弹簧(11)的一端安装有移动卡板(9),所述移动卡板(9)滑动的安装在旋转台(3)上。
2.根据权利要求1所述的一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机,其特征在于:所述防护箱(2)的上端安装有腐蚀液存储箱(15),所述腐蚀液存储箱(15)与防护箱(2)固定连接,所述腐蚀液存储箱(15)上端的两侧均安装有第一水泵(19),所述第一水泵(19)与腐蚀液存储箱(15)通过连接管道连接,所述第一水泵(19)远离旋转电机(26)的一侧安装有腐蚀液喷管(21),所述腐蚀液喷管(21)与第一水泵(19)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机,其特征在于:所述防护箱(2)上端的一侧安装有清水箱(14),所述清水箱(14)与防护箱(2)固定连接,所述清水箱(14)上端面靠近旋转电机(26)的一侧安装有第二水泵(20),所述第二水泵(20)与清水箱(14)通过连接管道连接,所述第二水泵(20)靠近旋转电机(26)的一侧安装有清水喷管(22),所述清水喷管(22)与第二水泵(20)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机,其特征在于:所述防护箱(2)上端的另一侧安装有热风箱(16),所述热风箱(16)与防护箱(2)固定连接,所述热风箱(16)内部的上端安装加热管(17),所述加热管(17)与热风箱(16)固定连接,所述热风箱(16)上端靠近旋转电机(26)的一侧安装有风机(18),所述风机(18)与热风箱(16)通过连接管道连接,所述风机(18)靠近旋转电机(26)的一侧安装有热风管道(23),所述热风管道(23)与风机(18)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机,其特征在于:所述防护箱(2)的前端面安装有安全门(24),所述安全门(24)与防护箱(2)通过铰链连接,所述旋转台(3)的内部设置有排液管道(6)。
6.根据权利要求4所述的一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机,其特征在于:所述热风箱(16)内部上端远离旋转电机(26)的一侧安装有除尘网(25),所述除尘网(25)与热风箱(16)焊接连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





