[实用新型]一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机有效

专利信息
申请号: 202022960763.4 申请日: 2020-12-09
公开(公告)号: CN213459665U 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 夏清波 申请(专利权)人: 襄阳市众力电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 441002 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶闸管 芯片 台面 多工位 旋转 腐蚀
【权利要求书】:

1.一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机,包括工作底板(1),其特征在于:所述工作底板(1)的上端安装有防护箱(2),所述工作底板(1)的上端设有旋转台(3),所述工作底板(1)的下端安装有旋转电机(26),所述旋转电机(26)与工作底板(1)通过轴承连接,所述旋转电机(26)与旋转台(3)通过联轴器连接,所述工作底板(1)的上端安装有第一挡板(4)和第二挡板(5),所述第一挡板(4)和第二挡板(5)与工作底板(1)焊接连接,所述旋转台(3)下端面远离旋转电机(26)的一侧安装有第三挡板(13),所述第三挡板(13)与旋转台(3)固定连接,所述旋转台(3)下端面远离旋转电机(26)的一侧设置有防渗槽(12),所述旋转台(3)的上端安装有防腐吸盘(8),所述防腐吸盘(8)远离旋转电机(26)的一侧安装有固定卡板(7),所述防腐吸盘(8)靠近旋转电机(26)的一侧安装有固定安装板(10),所述固定安装板(10)靠近旋转电机(26)的一侧安装有卡紧弹簧(11),所述卡紧弹簧(11)的一端安装有移动卡板(9),所述移动卡板(9)滑动的安装在旋转台(3)上。

2.根据权利要求1所述的一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机,其特征在于:所述防护箱(2)的上端安装有腐蚀液存储箱(15),所述腐蚀液存储箱(15)与防护箱(2)固定连接,所述腐蚀液存储箱(15)上端的两侧均安装有第一水泵(19),所述第一水泵(19)与腐蚀液存储箱(15)通过连接管道连接,所述第一水泵(19)远离旋转电机(26)的一侧安装有腐蚀液喷管(21),所述腐蚀液喷管(21)与第一水泵(19)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机,其特征在于:所述防护箱(2)上端的一侧安装有清水箱(14),所述清水箱(14)与防护箱(2)固定连接,所述清水箱(14)上端面靠近旋转电机(26)的一侧安装有第二水泵(20),所述第二水泵(20)与清水箱(14)通过连接管道连接,所述第二水泵(20)靠近旋转电机(26)的一侧安装有清水喷管(22),所述清水喷管(22)与第二水泵(20)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机,其特征在于:所述防护箱(2)上端的另一侧安装有热风箱(16),所述热风箱(16)与防护箱(2)固定连接,所述热风箱(16)内部的上端安装加热管(17),所述加热管(17)与热风箱(16)固定连接,所述热风箱(16)上端靠近旋转电机(26)的一侧安装有风机(18),所述风机(18)与热风箱(16)通过连接管道连接,所述风机(18)靠近旋转电机(26)的一侧安装有热风管道(23),所述热风管道(23)与风机(18)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机,其特征在于:所述防护箱(2)的前端面安装有安全门(24),所述安全门(24)与防护箱(2)通过铰链连接,所述旋转台(3)的内部设置有排液管道(6)。

6.根据权利要求4所述的一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机,其特征在于:所述热风箱(16)内部上端远离旋转电机(26)的一侧安装有除尘网(25),所述除尘网(25)与热风箱(16)焊接连接。

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