[实用新型]一种多层石英灯具

说明书

本实用新型涉及光纤生产技术领域，尤其公开一种多层石英灯具，该多层石英灯具包括进料仓室、氩气仓室、氧气仓室、氢气仓室和氮气仓室，进料仓室、氩气仓室、氧气仓室、氢气仓室和氮气仓室由上至下呈层叠状设置，进料仓室的下端设有第一排气管，氩气仓室的下端设有第二排气管，氧气仓室的下端设有第三排气管，氢气仓室的下端设有第四排气管，氮气仓室的下端设有第五排气管，第一排气管和第二排气管相互平行，第三排气管的末端沿靠近第二排气管的方向倾斜，第四排气管和第五排气管的末端均呈锥形，喷出的气体混合均匀且存在火焰焦点，减少散热，提高四氯化硅的反应效率，降低生产成本，节约资源。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产和光纤生产技术领域，尤其涉及一种多层石英灯具。

背景技术

合成石英玻璃是当今石英玻璃种类中性能、品质最优的一种，尤其是在透紫外光谱性能更是极佳的光学材料，其纯度更是石英玻璃中的佼佼者。近年来，由于石英玻璃内在的性能的优越，其生产工艺和生产技术得到了极大的发展，并在半导体工业中的光掩膜板，核工业中的激光透镜以及航空领域等得到了广泛的应用。

合成石英玻璃生产原理是将四氯化硅蒸气通入高温燃烧的氢氧焰中，水解生成不定型二氧化硅胶体，高温沉积到旋转的靶材上，生成合成石英玻璃。

目前，制作合成石英玻璃时，所采用的灯具多为金属制作或者石英玻璃制作的分体石英灯具，金属的灯具受金属纯度的影响，会影响合成石英玻璃的纯度，而分体的石英灯具反复的拆卸可能会影响安装精度。并且现有灯具大多采用直口喷射，火焰形不成焦点，导致火焰热量大量损失，使出口处没有相对高温反应区，四氯化硅不能完全反应，从而影响沉积速率和得料率，造成浪费资源，增加生产成本。

因此，亟待需要一种多层石英灯具以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多层石英灯具，保证喷射出的火焰存在焦点，提高气料的混合程度和火焰的集中度，使二氧化硅能更好的沉积到靶材上。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

一种多层石英灯具，包括进料仓室、氩气仓室、氧气仓室、氢气仓室和氮气仓室，所述进料仓室、所述氩气仓室、所述氧气仓室、所述氢气仓室和所述氮气仓室由上至下呈层叠状设置，所述进料仓室的下端设有第一排气管，所述氩气仓室的下端设有第二排气管，所述氧气仓室的下端设有第三排气管，所述氢气仓室的下端设有第四排气管，所述氮气仓室的下端设有第五排气管，所述第一排气管套设于所述第二排气管内，所述第二排气管套设于所述第四排气管内，所述第四排气管套设于所述第五排气管内，所述第三排气管布置于所述第二排气管和所述第四排气管之间，所述第一排气管和所述第二排气管相互平行，所述第三排气管的末端沿靠近所述第二排气管的方向倾斜，所述第四排气管和所述第五排气管的末端均呈锥形。

作为多层石英灯具的可选方案，所述第一排气管的长度小于所述第二排气管的长度。

作为多层石英灯具的可选方案，所述第二排气管的长度小于所述第三排气管的长度。

作为多层石英灯具的可选方案，所述第三排气管的长度小于所述第四排气管的长度。

作为多层石英灯具的可选方案，所述第四排气管的长度小于所述第五排气管的长度。

作为多层石英灯具的可选方案，每个排气管与对应的仓室可拆卸连接。

作为多层石英灯具的可选方案，所述进料仓室的上端设有第一进气管，所述氩气仓室的上端侧壁设有第二进气管，所述氧气仓室的上端侧壁设有第三进气管，所述氢气仓室的上端侧壁设有第四进气管，所述氮气仓室的上端侧壁设有第五进气管。

作为多层石英灯具的可选方案，所述第二进气管、所述第三进气管和所述第四进气管位于相同的一侧。

作为多层石英灯具的可选方案，所述氮气仓室的上端侧壁对称设有两个所述第五进气管。