[实用新型]一种多层石英灯具

权利要求书

1.一种多层石英灯具，包括进料仓室(1)、氩气仓室(2)、氧气仓室(3)、氢气仓室(4)和氮气仓室(5)，其特征在于，所述进料仓室(1)、所述氩气仓室(2)、所述氧气仓室(3)、所述氢气仓室(4)和所述氮气仓室(5)由上至下呈层叠状设置，所述进料仓室(1)的下端设有第一排气管(11)，所述氩气仓室(2)的下端设有第二排气管(21)，所述氧气仓室(3)的下端设有第三排气管(31)，所述氢气仓室(4)的下端设有第四排气管(41)，所述氮气仓室(5)的下端设有第五排气管(51)，所述第一排气管(11)套设于所述第二排气管(21)内，所述第二排气管(21)套设于所述第四排气管(41)内，所述第四排气管(41)套设于所述第五排气管(51)内，所述第三排气管(31)布置于所述第二排气管(21)和所述第四排气管(41)之间，所述第一排气管(11)和所述第二排气管(21)相互平行，所述第三排气管(31)的末端沿靠近所述第二排气管(21)的方向倾斜，所述第四排气管(41)和所述第五排气管(51)的末端均呈锥形。

2.根据权利要求1所述的多层石英灯具，其特征在于，所述第一排气管(11)的长度小于所述第二排气管(21)的长度。

3.根据权利要求2所述的多层石英灯具，其特征在于，所述第二排气管(21)的长度小于所述第三排气管(31)的长度。

4.根据权利要求3所述的多层石英灯具，其特征在于，所述第三排气管(31)的长度小于所述第四排气管(41)的长度。

5.根据权利要求4所述的多层石英灯具，其特征在于，所述第四排气管(41)的长度小于所述第五排气管(51)的长度。

6.根据权利要求5所述的多层石英灯具，其特征在于，每个排气管与对应的仓室可拆卸连接。

7.根据权利要求1所述的多层石英灯具，其特征在于，所述进料仓室(1)的上端设有第一进气管(12)，所述氩气仓室(2)的上端侧壁设有第二进气管(22)，所述氧气仓室(3)的上端侧壁设有第三进气管(32)，所述氢气仓室(4)的上端侧壁设有第四进气管(42)，所述氮气仓室(5)的上端侧壁设有第五进气管(52)。

8.根据权利要求7所述的多层石英灯具，其特征在于，所述第二进气管(22)、所述第三进气管(32)和所述第四进气管(42)位于相同的一侧。

9.根据权利要求8所述的多层石英灯具，其特征在于，所述氮气仓室(5)的上端侧壁对称设有两个所述第五进气管(52)。

10.根据权利要求1-9任一项所述的多层石英灯具，其特征在于，所述氧气仓室(3)的下端沿周向间隔设有多个所述第三排气管(31)，和/或

所述氧气仓室(3)沿径向间隔设置有多个所述第三排气管(31)。