[实用新型]压力控制系统与反应炉

说明书

本实用新型公开了一种压力控制系统与反应炉，压力控制系统包括反应室、冷却装置、抽气装置、第一控制阀与第二控制阀，反应室具有第一开口；冷却装置与第一开口连通，用于对从第一开口流出的气体进行冷却，冷却装置具有供冷却后的气体流出的第二开口与第三开口；抽气装置与第二开口连通，用于调节反应室内的气压；第一控制阀连接于第二开口，用于控制第二开口的开闭；第二控制阀连接于第三开口，用于控制第三开口的开闭。上述压力控制系统的结构简单，易于实现。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片制造领域，尤其是涉及压力控制系统与反应炉。

背景技术

目前太阳能电池片制造用的反应炉包括反应室，在生产过程中，需要维持反应室内的压力平衡，此外，当发生异常情况时还需要排出反应室内的废气，相关技术中的相关控制系统结构复杂，难以满足实际生产的需求。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种压力控制系统，能够简化结构，降低成本。

本实用新型还公开了应用上述压力控制系统的反应炉。

根据本实用新型第一实施例的压力控制系统，包括：

反应室，具有第一开口；

冷却装置，与所述第一开口连通，用于对从所述第一开口流出的气体进行冷却，所述冷却装置具有供冷却后的气体流出的第二开口与第三开口；

抽气装置，与所述第二开口连通，用于调节所述反应室内的气压；

第一控制阀，连接于所述第二开口，用于控制所述第二开口的开闭；

第二控制阀，连接于所述第三开口，用于控制所述第三开口的开闭。

根据本实用新型实施例的压力控制系统，至少具有如下有益效果：

冷却装置可以对反应室排出的高温气体进行冷却，避免对抽气装置造成损伤。正常工作时，第一控制阀开启，第二控制阀关闭，抽气装置能够维持反应室内的低压环境。当反应室内出现异常时，第一控制阀关闭，第二控制阀开启，废气能够直接从冷却装置的第三开口排出，结构简单，易于实现。

根据本实用新型的一些实施例，所述压力控制系统还包括：

排气管；

第一连接管，两端分别与所述抽气装置以及所述排气管连通；

第二连接管，两端分别与所述第二控制阀以及所述排气管连通。

根据本实用新型的一些实施例，所述压力控制系统还包括第三连接管，所述第三连接管的两端分别与所述第一控制阀以及所述抽气装置连通。

根据本实用新型的一些实施例，所述冷却装置还具有第四开口，所述压力控制系统还包括压力检测装置，所述压力检测装置连接于所述第四开口。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二开口与所述第三开口位于所述冷却装置的相对两侧，所述第四开口位于所述第二开口与所述第三开口之间。

根据本实用新型的一些实施例，所述抽气装置包括定速真空泵与变频器，所述变频器与所述定速真空泵电连接，能够基于所述压力检测装置检测获得的压力值调节所述定速真空泵的转速。

根据本实用新型的一些实施例，所述冷却装置包括：

第一壳体，具有第一腔体、冷却介质入口与冷却介质出口，所述冷却介质入口与所述冷却介质出口均与所述第一腔体连通；

第二壳体，与所述第一壳体连接，具有与所述第一开口连通的第二腔体；

第三壳体，与所述第一壳体连接，具有与所述抽气装置连通的第三腔体；