[实用新型]声表面波滤波芯片封装结构有效
申请号: | 202022934517.1 | 申请日: | 2020-12-07 |
公开(公告)号: | CN213661583U | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 王凯厚;杨剑宏;王鑫琴 | 申请(专利权)人: | 苏州晶方半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | H03H3/08 | 分类号: | H03H3/08;H03H9/10 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 沈晓敏 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 表面波 滤波 芯片 封装 结构 | ||
1.一种声表面波滤波芯片封装结构,其包括声表面波滤波芯片,所述声表面波滤波芯片包括相对的功能面和非功能面,所述功能面形成有功能区和设于所述功能区周侧的焊盘,其特征在于,
所述封装结构还包括封盖层、金属层和焊球,所述封盖层覆于所述功能面,与所述功能区之间形成密闭空腔,并于所述焊盘之上形成有暴露所述焊盘的贯通孔;
所述金属层填充于所述贯通孔内,其上表面形成有一个向内凹陷的限位凹槽,所述金属层与所述限位凹槽为一体电镀成型结构;
所述焊球设于所述金属层上表面,且其底部形成有与所述限位凹槽匹配的凸起部。
2.根据权利要求1所述的声表面波滤波芯片封装结构,其特征在于,所述限位凹槽的深度为所述焊球直径的5%~20%。
3.根据权利要求2所述的声表面波滤波芯片封装结构,其特征在于,所述限位凹槽横截面呈圆形,其于所述金属层上表面处的横截面直径为所述焊球直径的45%~65%,沿所述限位凹槽内凹方向其横截面直径逐渐减小。
4.根据权利要求1至3任一项所述的声表面波滤波芯片封装结构,其特征在于,所述限位凹槽与所述贯通孔同轴设置。
5.根据权利要求1所述的声表面波滤波芯片封装结构,其特征在于,所述封盖层为高聚物膜,所述金属层和所述贯通孔之间设有一种子层。
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