[实用新型]一种半导体设备用冷却盘装置

说明书

本实用新型为一种半导体设备用冷却盘装置，包括底座，所述底座包括保护壳以及顶盖，所述保护壳包括连接板以及冷却管道，所述冷却管道为螺旋形，所述连接板设有冷却孔，所述冷却管道的一端设有连接件，所述连接件设有连接孔，所述连接孔的两侧设有螺纹孔，所述冷却管道的外壁上设有隔热层，通过连接件连接冷却设备，通过连接件防止冷气泄漏出去，使冷气传输到冷却管道上，通过冷却孔将冷却管道的冷气充分传输到保护壳内部，通过螺旋形的冷却管道对保护壳内部进行充分传输冷气，保证对物料的冷却充分，通过保护壳进行保温，通过顶盖进行封住保护壳，使冷气在保护壳内部充分冷却物料，结构简单，方便工作人员安装。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，具体为一种半导体设备用冷却盘装置。

背景技术

众所周知，在半导体设备中，冷却盘对烘烤过后晶元的冷却步骤是必不可少的，冷却盘的冷却精度与稳定性就成为了半导体设备中的一道关键指标，目前主流的冷却盘安装与加工精度都不够，会严重影响冷却盘的冷却制冷效果。

如对比公开专利“CN201721114868.X”名为“一种新型的导流冷却盘组”，包括结构相同的第一冷却盘、第二冷却盘、第三冷却盘和第四冷却盘，第一冷却盘与第二冷却盘相对称设置，第三冷却盘与第四冷却盘相对称设置，第一冷却盘与第三冷却盘相对称设置，第一冷却盘、第二冷却盘、第三冷却盘和第四冷却盘组成正方形冷却盘组，该冷却盘组结构较为复杂，不方便工作人员组装，现需一种结构稳定，安装简单的冷却盘结构。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种结构稳定，安装简单的半导体设备用冷却盘装置。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体设备用冷却盘装置，包括底座，所述底座包括保护壳以及顶盖，所述保护壳安装在所述底座的顶端，所述顶盖安装在所述保护壳的顶端，所述顶盖螺纹连接所述保护壳，所述保护壳包括连接板以及冷却管道，所述连接板以及冷却管道均安装在所述保护壳的内部，所述冷却管道安装在所述连接板的底端，所述冷却管道为螺旋形，且所述冷却管道延伸至所述保护壳的外侧，所述连接板设有冷却孔，所述冷却孔连通所述冷却管道，所述冷却孔设有多个，所述冷却管道的一端设有连接件，且所述连接件位于所述保护壳的外侧，所述连接件设有连接孔，所述连接孔贯穿所述连接件，所述连接孔的两侧设有螺纹孔，所述冷却管道螺纹连接所述螺纹孔，所述冷却管道的外壁上设有隔热层，所述隔热层包裹所述冷却管道。

为了方便将冷却空气排出，本实用新型改进有，所述顶盖的顶端设有出气口，所述出气口连通所述顶盖，所述出气口的顶端设有气盖，所述气盖螺纹连接所述出气口。

为了防止水渗入内部，影响装置的正常运行，本实用新型改进有，所述连接件的两端设有阻水层。

为了方便工作人员安装固定该装置，本实用新型改进有，所述底座上设有安装孔，所述安装孔上设有螺纹销，所述螺纹销螺纹连接所述安装孔，所述螺纹销设有螺帽，所述螺帽安装在所述螺纹销的一端。

为了方便工作人员紧固该装置，本实用新型改进有，所述螺帽的形状为六边形。

为了方便工作人员拆卸，本实用新型改进有，所述螺帽的顶端设有十字凹槽。

为了防止装卸过程中工作人员使用工具出现打滑等现象，本实用新型改进有，所述十字凹槽上设有防滑齿。

为了更好的进行冷却，降低该装置的功耗，本实用新型改进有，所述保护壳的内层设有保温层。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体设备用冷却盘装置，具备以下有益效果：