[实用新型]一种偏心菱形齿结构

说明书

本实用新型公开了一种偏心菱形齿结构，包括该偏心菱形齿结构安装于硅片花篮支撑杆的外表面上，所述硅片花篮支撑杆与花篮端板一起组成硅片花篮，所述硅片花篮支撑杆与花篮端板相结合的位置开设有凹槽，所述花篮端板共设置有两个，且两个花篮端板安装于三个所述硅片花篮支撑杆的两端；本实用新型所述的偏心菱形齿结构，偏心菱形齿结构可以减少硅片花篮支撑杆上齿与硅片的接触面积，提高硅片良率。硅片和齿接触会产生齿印，齿印是硅片良率的重要指标，减少齿与硅片的接触面积可以有效降低齿印，提高硅片良率。

技术领域

本实用新型涉及花篮领域，具体为一种偏心菱形齿结构。

背景技术

花篮是一种广泛应用于太阳能电池、IC芯片、LED芯片等半导体制造领域的生产制具，花篮主要用于晶片的存放、蚀刻、搬运等，花篮主要包含方形花篮和圆形花篮；

传统的硅片花篮支撑杆上齿的形状为正菱形，如图3与图4所示，这种形状的齿和硅片的接触面积较大，导致硅片上的齿印较大，影响硅片质量，为此，提出一种偏心菱形齿结构。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种偏心菱形齿结构，本实用新型提供如下技术方案：该偏心菱形齿结构安装于硅片花篮支撑杆的外表面上，所述硅片花篮支撑杆与花篮端板一起组成硅片花篮，所述硅片花篮支撑杆与花篮端板相结合的位置开设有凹槽。

优选的，所述硅片花篮支撑杆共设置有三个，且三个硅片花篮支撑杆的规格大小一致。

优选的，所述硅片花篮支撑杆的横截面为圆形，且其为圆柱体结构。

优选的，所述凹槽的孔径与硅片花篮支撑杆的横截面直径一致。

优选的，所述花篮端板共设置有两个，且两个花篮端板安装于三个所述硅片花篮支撑杆的两端。

优选的，所述偏心菱形齿结构在硅片花篮支撑杆的外表面上的间距相同。

与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：该一种偏心菱形齿结构，偏心菱形齿结构可以减少硅片花篮支撑杆上齿与硅片的接触面积，提高硅片良率。硅片和齿接触会产生齿印，齿印是硅片良率的重要指标，减少齿与硅片的接触面积可以有效降低齿印，提高硅片良率。

附图说明

图1为本实用新型偏心菱形齿结构的安装结构示意图；

图2为本实用新型偏心菱形齿结构的整体结构示意图；

图3为传统鲨鱼鳍齿的安装结构示意图；

图4为传统鲨鱼鳍齿的整体结构示意图；

图5为硅片花篮整体结构示意图；

图中：1、花篮端板；2、硅片花篮支撑杆；3、凹槽；4、偏心菱形齿结构；5、鲨鱼鳍齿。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，一种偏心菱形齿结构，该偏心菱形齿结构4安装于硅片花篮支撑杆2的外表面上，所述硅片花篮支撑杆2与花篮端板1一起组成硅片花篮，所述硅片花篮支撑杆2与花篮端板1相结合的位置开设有凹槽3。

硅片花篮支撑杆2共设置有三个，且三个硅片花篮支撑杆2的规格大小一致。

硅片花篮支撑杆2的横截面为圆形，且其为圆柱体结构。

凹槽3的孔径与硅片花篮支撑杆2的横截面直径一致。