[实用新型]一种偏心菱形齿结构有效
| 申请号： | 202022907606.7 | 申请日： | 2020-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN214099602U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 孟岭 | 申请（专利权）人： | 无锡市世通模塑有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 谷金颖 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 偏心 菱形 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种偏心菱形齿结构，其特征在于：该偏心菱形齿结构(4)安装于硅片花篮支撑杆(2)的外表面上，所述硅片花篮支撑杆(2)与花篮端板(1)一起组成硅片花篮，所述硅片花篮支撑杆(2)与花篮端板(1)相结合的位置开设有凹槽(3)。
2.根据权利要求1所述的一种偏心菱形齿结构，其特征在于：所述硅片花篮支撑杆(2)共设置有三个，且三个硅片花篮支撑杆(2)的规格大小一致。
3.根据权利要求1所述的一种偏心菱形齿结构，其特征在于：所述硅片花篮支撑杆(2)的横截面为圆形，且其为圆柱体结构。
4.根据权利要求1所述的一种偏心菱形齿结构，其特征在于：所述凹槽(3)的孔径与硅片花篮支撑杆(2)的横截面直径一致。
5.根据权利要求1所述的一种偏心菱形齿结构，其特征在于：所述花篮端板(1)共设置有两个，且两个花篮端板(1)安装于三个所述硅片花篮支撑杆(2)的两端。
6.根据权利要求1所述的一种偏心菱形齿结构，其特征在于：所述偏心菱形齿结构(4)在硅片花篮支撑杆(2)的外表面上的间距相同。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
