[实用新型]一种检测SE图形精度的装置有效
申请号: | 202022852105.3 | 申请日: | 2020-12-02 |
公开(公告)号: | CN213519885U | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 杨祖佳;陈实;树式;夏利鹏;吴圣;李干;陈经纬 | 申请(专利权)人: | 江苏龙恒新能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66;H01L21/677 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 检测 se 图形 精度 装置 | ||
本实用新型属于SE电池技术领域,具体为一种检测SE图形精度的装置,其技术方案是:包括激光上料台,所述激光上料台底端设有上料箱,所述上料箱内部左端卡接集成料箱,所述集成料箱内部焊接传送台,所述传送台上端表面设有蓝膜片,所述上料箱内部右端卡接升降台,所述升降台顶端通过销轴固定安装升降板,所述升降板两端连接导向装置,所述激光上料台右端连接鹅颈管,本实用新型的有益效果是:达到使二次元测试不会对量产节奏进行干扰,提高激光精确度的效果,且达到提高激光SE图形精度监控的效率,当激光发生偏移时,能够及时发现,减少资源和经济浪费的效果。
技术领域
本实用新型涉及SE电池领域,具体涉及一种检测SE图形精度的装置。
背景技术
SE电池适合光电转换,不存在光致衰退问题,转换效率和多晶硅一样;具有价格低廉、性能良好和工艺简单等优点,将成为今后发展太阳能电池的一个重要方向;唯一的问题是材料的来源,由于铟和硒都是比较稀有的元素,因此,这类电池的发展又必然受到限制。
SE电池是在玻璃或其它廉价衬底上沉积若干层金属化合物半导体薄膜,薄膜总厚度大约为2-3微米,利用太阳光发电;SE电池具有成本低、性能稳定、抗辐射能力强等特性,光电转换效率是各种薄膜太阳电池之首。
现有技术存在以下不足:现有的大部分厂家在制作SE电池时,采用激光技术制作,而在当中需手动放置镀膜蓝膜片,然后离线二次元进行测试,测试时会对量产节奏造成干扰,导致激光偏移,造成资源浪费。
因此,发明一种检测SE图形精度的装置很有必要。
实用新型内容
为此,本实用新型提供一种检测SE图形精度的装置,通过在激光上料台和激光下料台底端增加蓝膜片,通过上料箱自动上下料,使镀膜硅片与自动化量产流程分开,使测试不会对量产节奏进行干扰,再通过在激光SE后增加红外线探测器,以解决激光偏移,造成资源浪费的问题。
为了实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种检测SE图形精度的装置,包括激光上料台,所述激光上料台底端设有上料箱,所述上料箱内部左端卡接集成料箱,所述集成料箱内部焊接传送台,所述传送台上端表面设有蓝膜片,所述上料箱内部右端卡接升降台,所述升降台顶端通过销轴固定安装升降板,所述升降板两端连接导向装置,所述激光上料台右端连接鹅颈管;
所述传送台内部插接轴杆,所述轴杆外壁套接传送带,所述轴杆下端套接皮带,所述传送台外壁下端中间通过直角架固定安装电机,所述电机输出端连接所述轴杆;
所述升降台内部左端卡接滑动轴座,所述滑动轴座上端通过销轴固定安装交叉轴杆,所述交叉轴杆右侧底端通过销轴固定安装在固定轴座的内部,所述滑动轴座与所述固定轴座之间通过销轴固定安装第一液压杆,所述交叉轴杆之间通过销轴固定安装第二液压缸,所述升降板通过内部通过销轴固定安装所述交叉轴杆;
所述导向装置包括导向滑块,所述导向滑块设置在所述升降板的两端,所述导向滑块插接在所述上料箱和所述集成料箱内部。
优选的,所述集成料箱底端通过螺栓固定安装滑轮,所述滑轮卡接在所述上料箱的内部底端。
优选的,所述传送带表面设有放置槽,所述放置槽内部设有蓝膜片。
优选的,所述升降板上端表面粘接橡胶垫,所述橡胶垫内部设有蓝膜片。
优选的,所述导向装置还包括异形导向滑块,所述异形导向滑块设置在所述升降板的两端,所述异形导向滑块插接在所述上料箱和所述集成料箱内部。
优选的,所述鹅颈管左端通过销轴固定安装固定箍,所述固定箍内部通过螺栓固定安装红外线探测器。
与现有技术相比,该一种检测SE图形精度的装置的优点:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造