[实用新型]一种检测SE图形精度的装置有效
| 申请号: | 202022852105.3 | 申请日: | 2020-12-02 |
| 公开(公告)号: | CN213519885U | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
| 发明(设计)人: | 杨祖佳;陈实;树式;夏利鹏;吴圣;李干;陈经纬 | 申请(专利权)人: | 江苏龙恒新能源有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66;H01L21/677 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 210000 江苏省宿迁市经济*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 检测 se 图形 精度 装置 | ||
1.一种检测SE图形精度的装置,包括激光上料台(1),其特征在于:所述激光上料台(1)底端设有上料箱(2),所述上料箱(2)内部左端卡接集成料箱(3),所述集成料箱(3)内部焊接传送台(4),所述传送台(4)上端表面设有蓝膜片(5),所述上料箱(2)内部右端卡接升降台(6),所述升降台(6)顶端通过销轴固定安装升降板(7),所述升降板(7)两端连接导向装置(8),所述激光上料台(1)右端连接鹅颈管(9);
所述传送台(4)内部插接轴杆(41),所述轴杆(41)外壁套接传送带(42),所述轴杆(41)下端套接皮带(43),所述传送台(4)外壁下端中间通过直角架固定安装电机(44),所述电机(44)输出端连接所述轴杆(41);
所述升降台(6)内部左端卡接滑动轴座(61),所述滑动轴座(61)上端通过销轴固定安装交叉轴杆(62),所述交叉轴杆(62)右侧底端通过销轴固定安装在固定轴座(63)的内部,所述滑动轴座(61)与所述固定轴座(63)之间通过销轴固定安装第一液压杆(64),所述交叉轴杆(62)之间通过销轴固定安装第二液压缸(65),所述升降板(7)通过内部通过销轴固定安装所述交叉轴杆(62);
所述导向装置(8)包括导向滑块(81),所述导向滑块(81)设置在所述升降板(7)的两端,所述导向滑块(81)插接在所述上料箱(2)和所述集成料箱(3)内部。
2.根据权利要求1所述的一种检测SE图形精度的装置,其特征在于:所述集成料箱(3)底端通过螺栓固定安装滑轮(31),所述滑轮(31)卡接在所述上料箱(2)的内部底端。
3.根据权利要求1所述的一种检测SE图形精度的装置,其特征在于:所述传送带(42)表面设有放置槽(421),所述放置槽(421)内部设有蓝膜片(5)。
4.根据权利要求1所述的一种检测SE图形精度的装置,其特征在于:所述升降板(7)上端表面粘接橡胶垫(71),所述橡胶垫(71)内部设有蓝膜片(5)。
5.根据权利要求1所述的一种检测SE图形精度的装置,其特征在于:所述导向装置(8)还包括异形导向滑块(82),所述异形导向滑块(82)设置在所述升降板(7)的两端,所述异形导向滑块(82)插接在所述上料箱(2)和所述集成料箱(3)内部。
6.根据权利要求1所述的一种检测SE图形精度的装置,其特征在于:所述鹅颈管(9)左端通过销轴固定安装固定箍(91),所述固定箍(91)内部通过螺栓固定安装红外线探测器(92)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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