[实用新型]一种晶圆清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：

容器，所述容器具有用于装载清洗液的容腔，所述容器内还设有第一循环通道，该第一循环通道通过多个第一循环孔与所述容腔连通；

筒体，所述筒体套设于所述容器的外部，且所述筒体相对所述容器可转动；所述筒体设有连接柱，该连接柱用于连接搅拌所述容腔内清洗液的搅拌部件。

2.如权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述容器设有与所述容腔连通的排液通道。

3.如权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述连接柱的数量为多个，多个所述连接柱沿所述筒体的周向阵列分布。

4.如权利要求1或3所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述连接柱开设有定位孔，该定位孔的侧壁上设有磁性层。

5.如权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述容器包括同轴相连的第一圆柱体段和第二圆柱体段，且所述第一圆柱体段的直径大于所述第二圆柱体段的直径；

所述容腔位于所述第一圆柱体段上，所述第一循环通道的一部分绕所述容腔环形设置，所述第一循环通道的另一部位于所述第二圆柱体段上，所述第一循环孔设置在所述容腔的侧壁。

6.如权利要求5所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述筒体套设于所述第一圆柱体段的外部，所述筒体与所述第二圆柱体段之间通过轴承实现相对转动。

7.如权利要求5所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第二圆柱体段内设有用于供加热液/冷却液循环流动的第二循环通道。

8.如权利要求7所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第二圆柱体段开设有多个连通所述循环通道的第二循环孔。

9.如权利要求5－8任一项所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第一圆柱体段与所述第二圆柱体段为一体成型件。

10.如权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述筒体的底部设有用于连接驱动机构以驱动所述筒体转动的齿部。