[实用新型]一种高稳定性双温区大容积炉源装置

权利要求书

1.一种高稳定性双温区大容积炉源装置，其特征在于：包括用于与腔体连接的真空法兰(2)，所述真空法兰(2)的一侧设置有多个热电偶馈通(1)，所述真空法兰(2)的另一侧通过支撑杆(3)固定有支撑圆盘(5)，所述支撑圆盘(5)的上方固定有中空的外筒(4)，且外筒(4)的两端均设置为开口；

所述外筒(4)的内壁设置有下温区加热组件(7)和上温区加热组件(8)，所述上温区加热组件(8)和下温区加热组件(7)均包括多个固定片(81)、设置在固定片(81)上的方槽(83)以及插接在方槽(83)内的加热板(82)；

所述外筒(4)的内部设置有坩埚(9)，且下温区加热组件(7)和上温区加热组件(8)分别位于坩埚(9)外表面的下部和上部；

所述支撑圆盘(5)的上设置有上温区热电偶(6)和下温区热电偶(10)，所述上温区热电偶(6)的测温头位于上温区加热组件(8)处，所述下温区热电偶(10)的测温头位于下温区加热组件(7)处。

2.根据权利要求1所述的一种高稳定性双温区大容积炉源装置，其特征在于：所述固定片(81)为一体式固定片。

3.根据权利要求1所述的一种高稳定性双温区大容积炉源装置，其特征在于：所述加热板(82)为一个加热片(821)连续弯曲组成。

4.根据权利要求2所述的一种高稳定性双温区大容积炉源装置，其特征在于：所述方槽(83)的宽度不小于两个加热片(821)的宽度。

5.根据权利要求1所述的一种高稳定性双温区大容积炉源装置，其特征在于：所述真空法兰(2)设置有螺栓孔，通过螺栓将真空法兰(2)与腔体固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种高稳定性双温区大容积炉源装置，其特征在于：所述热电偶馈通(1)设置为4个，4个所述热电偶馈通等列分布在真空法兰(2)的一侧。

7.根据权利要求1所述的一种高稳定性双温区大容积炉源装置，其特征在于：所述坩埚(9)的顶部设置为向外延伸的圆环，且圆环直径的不小于固定片(81)的直径。

8.根据权利要求1所述的一种高稳定性双温区大容积炉源装置，其特征在于：所述下温区加热组件(7)和上温区加热组件(8)结构相同，且上温区加热组件(8)的直径大于下温区加热组件(7)的直径。