[实用新型]一种溅射靶材熔融液体搅拌装置有效
申请号: | 202022819244.6 | 申请日: | 2020-11-30 |
公开(公告)号: | CN215832509U | 公开(公告)日: | 2022-02-15 |
发明(设计)人: | 曹兴民 | 申请(专利权)人: | 苏州罗纳尔材料科技有限公司 |
主分类号: | F27D27/00 | 分类号: | F27D27/00 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董成 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 溅射 熔融 液体 搅拌 装置 | ||
本实用新型公开了一种溅射靶材熔融液体搅拌装置,涉及搅拌装置技术领域,具体为一种溅射靶材熔融液体搅拌装置,包括熔炉外壳,所述熔炉外壳的内部固定安装有熔炉内壳,所述熔炉外壳外部的左侧固定安装有控制箱,所述熔炉外壳外部的右侧固定安装有固定板,且固定板的顶部固定安装有多级电动伸缩杆。该溅射靶材熔融液体搅拌装置,在通过熔炉外壳对熔炉内壳内部的靶材进行熔化时,根据熔炉内壳内部液体含量,在搅拌轴杆外部加装合适数量的搅拌头,并对相邻搅拌头之间间距进行调节,保证搅拌轴杆外部的搅拌头可以对熔融液体进行均匀搅拌,提高搅拌的效果,另外工作时通过多级电动伸缩杆带动防护顶盖下移。
技术领域
本实用新型涉及搅拌装置技术领域,具体为一种溅射靶材熔融液体搅拌装置。
背景技术
溅射靶材在生产过程中,经过熔炼、浇铸成型、锻压、粗磨和精磨等工艺后,方可成型。熔炼用的原材料具有一定比例的在粗磨和精磨过程中切割下的金属碎屑以便节约成本。而熔炼这些回收金属碎屑是在电加热熔炉中进行的,同时在熔炼过程中需要对熔融的金属液进行不断搅拌,以便使得金属液中的气体和杂质上浮,释放金属液中的气体和清理杂质。
目前在通过熔炉对溅射靶材碎屑进行熔融时,通常通过工作人员手持搅拌杆对金属液进行搅拌,操作难度较大,且不能使金属液充分混合,导致金属液中的杂质不能完全上浮,且由于金属液的温度过高,在搅拌过程中金属液飞溅容易造成操作人员烫伤,此外,目前在熔炉对金属液熔化后,通常需要工作人员手动对熔炉内壁急性清理,金属溶液废渣通常紧密附着在熔炉内壁,清理难度较大,为此,我们提出一种溅射靶材熔融液体搅拌装置以解决上述提出的问题。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种溅射靶材熔融液体搅拌装置,具有提高搅拌效果、便于对装置内壁杂质进行清理等优点,解决了上述背景技术中提出的问题。
为实现以上提高搅拌效果、便于对装置内壁杂质进行清理的目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种溅射靶材熔融液体搅拌装置,包括熔炉外壳,所述熔炉外壳的内部固定安装有熔炉内壳,所述熔炉外壳外部的左侧固定安装有控制箱,所述熔炉外壳外部的右侧固定安装有固定板,且固定板的顶部固定安装有多级电动伸缩杆,所述多级电动伸缩杆的输出轴上固定安装有第一连接杆,且第一连接杆的一端固定安装有防护顶盖,所述防护顶盖的顶部固定安装有联轴器,且联轴器的顶部固定安装有驱动电机,所述驱动电机的输出轴上固定套装有位于防护顶盖下方的搅拌轴杆,且搅拌轴杆的外部活动套装有搅拌头,所述搅拌轴杆的外部活动套装有位于搅拌头顶部的第二连接杆,且第二连接杆的底部活动安装有清理杆。
优选的,所述熔炉内壳顶端的外侧开设有倒角,所述防护顶盖的内径值大于熔炉内壳的外径值。
优选的,所述搅拌头均匀分布于搅拌轴杆的外部,所述搅拌头的内部以及搅拌轴杆的外部开设有相互配合的滑块与滑槽,所述搅拌头的侧面螺纹套接有第三锁紧螺杆。
优选的,所述第二连接杆的底部开设有与清理杆相互配合的放置槽,所述第二连接杆的侧面螺纹套接有与清理杆相互配合的第一锁紧螺杆。
优选的,所述第二连接杆中部的内侧以及搅拌轴杆的外部开设有相互配合的滑块与滑槽,所述第二连接杆的中部螺纹套接有第二锁紧螺杆。
优选的,所述搅拌轴杆、搅拌头与熔炉外壳处于同一中轴线上,所述搅拌轴杆的底端不与熔炉内壳内侧底部相接触。
本实用新型提供了一种溅射靶材熔融液体搅拌装置,具备以下有益效果:
1、该溅射靶材熔融液体搅拌装置,在通过熔炉外壳对熔炉内壳内部的靶材进行熔化时,根据熔炉内壳内部液体含量,在搅拌轴杆外部加装合适数量的搅拌头,并对相邻搅拌头之间间距进行调节,保证搅拌轴杆外部的搅拌头可以对熔融液体进行均匀搅拌,提高搅拌的效果,另外工作时通过多级电动伸缩杆带动防护顶盖下移,通过防护顶盖对熔炉内壳顶部进行防护,防止熔融液体飞溅对工作人员造成影响。
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