[实用新型]一种溅射靶材熔融液体搅拌装置

权利要求书

1.一种溅射靶材熔融液体搅拌装置，包括熔炉外壳(1)，其特征在于：所述熔炉外壳(1)的内部固定安装有熔炉内壳(2)，所述熔炉外壳(1)外部的左侧固定安装有控制箱(16)，所述熔炉外壳(1)外部的右侧固定安装有固定板(3)，且固定板(3)的顶部固定安装有多级电动伸缩杆(4)，所述多级电动伸缩杆(4)的输出轴上固定安装有第一连接杆(5)，且第一连接杆(5)的一端固定安装有防护顶盖(6)，所述防护顶盖(6)的顶部固定安装有联轴器(7)，且联轴器(7)的顶部固定安装有驱动电机(8)，所述驱动电机(8)的输出轴上固定套装有位于防护顶盖(6)下方的搅拌轴杆(9)，且搅拌轴杆(9)的外部活动套装有搅拌头(10)，所述搅拌轴杆(9)的外部活动套装有位于搅拌头(10)顶部的第二连接杆(11)，且第二连接杆(11)的底部活动安装有清理杆(12)。

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于：所述熔炉内壳(2)顶端的外侧开设有倒角，所述防护顶盖(6)的内径值大于熔炉内壳(2)的外径值。

3.根据权利要求1所述的一种溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于：所述搅拌头(10)均匀分布于搅拌轴杆(9)的外部，所述搅拌头(10)的内部以及搅拌轴杆(9)的外部开设有相互配合的滑块与滑槽，所述搅拌头(10)的侧面螺纹套接有第三锁紧螺杆(15)。

4.根据权利要求1所述的一种溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于：所述第二连接杆(11)的底部开设有与清理杆(12)相互配合的放置槽，所述第二连接杆(11)的侧面螺纹套接有与清理杆(12)相互配合的第一锁紧螺杆(13)。

5.根据权利要求1所述的一种溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于：所述第二连接杆(11)中部的内侧以及搅拌轴杆(9)的外部开设有相互配合的滑块与滑槽，所述第二连接杆(11)的中部螺纹套接有第二锁紧螺杆(14)。

6.根据权利要求1所述的一种溅射靶材熔融液体搅拌装置，其特征在于：所述搅拌轴杆(9)、搅拌头(10)与熔炉外壳(1)处于同一中轴线上，所述搅拌轴杆(9)的底端不与熔炉内壳(2)内侧底部相接触。