[实用新型]晶圆背面清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆背面清洗装置，包括清洗室(1)，其特征在于，所述清洗室(1)内设置有一旋转件(6)，所述旋转件(6)的中部为能够全部露出晶圆(5)背部的待清洗区域的镂空部，所述旋转件(6)的上表面设置有用于承托并夹紧晶圆(5)边缘的卡盘销(3)；

所述旋转件(6)的下方至少设置有一组间隔分布且用于喷射清洗剂的喷嘴(4)，同一组所述喷嘴(4)的连线在所述晶圆(5)背部的投影过所述晶圆(5)的旋转中心，且所述投影至少有一端抵达所述晶圆(5)背部的待清洗区域的边缘。

2.根据权利要求1所述的晶圆背面清洗装置，其特征在于，同一组所述喷嘴(4)的连线为直线。

3.根据权利要求1所述的晶圆背面清洗装置，其特征在于，所述旋转件(6)的下方还固定设置有一安装盘(2)，所述喷嘴(4)固定设置在所述安装盘(2)上。

4.根据权利要求3所述的晶圆背面清洗装置，其特征在于，所述安装盘(2)呈圆形，且所述安装盘(2)的圆心与所述晶圆(5)的旋转中心位于同一铅垂线上，同一组所述喷嘴(4)沿所述安装盘(2)的径向分布。

5.根据权利要求4所述的晶圆背面清洗装置，其特征在于，所述安装盘(2)上设置有多组所述喷嘴(4)。

6.根据权利要求4所述的晶圆背面清洗装置，其特征在于，所述旋转件(6)为与所述安装盘(2)同心设置的旋转圆环，且所述安装盘(2)嵌设于所述旋转圆环的镂空部内。

7.根据权利要求3所述的晶圆背面清洗装置，其特征在于，所述旋转件(6)的下方设置有一支撑柱(8)，所述安装盘(2)固定安装于所述支撑柱(8)的顶部；所述支撑柱(8)内设置有用于为所述喷嘴(4)提供清洗剂的供液管路(9)。

8.根据权利要求7所述的晶圆背面清洗装置，其特征在于，所述卡盘销(3)包括多个，且所述卡盘销(3)沿圆周方向间隔分布，相邻两个所述卡盘销(3)之间的间隔称为销间隔，所述支撑柱(8)的外壁与所述清洗室(1)的内壁之间的间隔构成壁间隔，所述销间隔与所述壁间隔共同构成用于排出清洗剂的废液排出通道(10)。

9.根据权利要求1所述的晶圆背面清洗装置，其特征在于，所述旋转件(6)的上方还设置有清洗罩，所述清洗罩上设置有供大气进入所述清洗室的开口(7)。

10.根据权利要求1所述的晶圆背面清洗装置，其特征在于，所述喷嘴(4)由聚四氟乙烯制造而成。