[实用新型]推拉球杆型可调式晶圆去胶机腔门装置

权利要求书

1.推拉球杆型可调式晶圆去胶机腔门装置，其特征是，包括反应腔（8）、前腔门（7）、后腔门（9）、丝杠机构；所述前腔门位于反应腔前端，所述后腔门通过铰链（10）置于反应腔后端；所述前腔门的内侧端连接有晶舟托杆（6），前腔门的外侧端连接挡板（78）；

通过电机（2）驱动丝杠机构，带动挡板沿反应腔轴向运动，以使前腔门闭合或开启；所述挡板通过球杆连接件与前腔门中心位置铰接，利用可调式机构对前腔门进行角度调节，使其与反应腔前端面契合。

2.根据权利要求1所述的推拉球杆型可调式晶圆去胶机腔门装置，其特征是，所述丝杠机构包括丝杆（3）、滚珠套筒（4）、丝杆尾座（11），所述丝杆尾座、电机分别固定设置，所述挡板为L型，所述滚珠套筒与挡板的侧部固定连接，所述丝杆尾座与设置在挡板侧部的导轨（5）滑动配合；电机驱动丝杆，带动滚珠套筒，使挡板相对丝杆尾座直线位移，继而带动前腔门闭合或开启。

3.根据权利要求2所述的推拉球杆型可调式晶圆去胶机腔门装置，其特征是，所述电机通过皮带（1）、带轮驱动丝杆。

4.根据权利要求1所述的推拉球杆型可调式晶圆去胶机腔门装置，其特征是，所述可调式机构为多组，沿前腔门周向均匀分布。

5.根据权利要求4所述的推拉球杆型可调式晶圆去胶机腔门装置，其特征是，每组可调式机构包括螺纹管（72）、套筒（74）、导杆（75）、旋钮（76）、固定轴承（77）；所述套筒固定于挡板内侧端，所述旋钮通过固定轴承与挡板转动连接，旋钮的尾部置于套筒内，并和螺纹管内腔螺纹旋接；所述螺纹管的头部通过导杆安装于套筒内，并与导杆滑动配合；旋转旋钮，使螺纹管沿导杆直线运动，继而使螺纹管的尾端推动前腔门，以对前腔门角度调节。

6.根据权利要求5所述的推拉球杆型可调式晶圆去胶机腔门装置，其特征是，每组可调式机构还包括滚珠（71），所述滚珠置于所述螺纹管的尾端，所述前腔门在与滚珠对应位置设有与之配合的凹槽。

7.根据权利要求1所述的推拉球杆型可调式晶圆去胶机腔门装置，其特征是，所述球杆连接件包括球杆（79）、球杆固定件（710），所述球杆固定件固定于前腔门中心位置，并设有锥形腔，所述球杆的球端置于该锥形腔内，所述球杆的杆件与挡板相连。