[实用新型]推拉球杆型可调式晶圆去胶机腔门装置

说明书

本实用新型涉及推拉球杆型可调式晶圆去胶机腔门装置，属于晶圆制造领域，腔门通过可调式机构和球杆连接件安装于挡板上，球杆连接件保证前腔门和石英腔的同轴度，通过转动旋钮可在各方位对前腔门进行角度的调节，使得腔门与石英腔贴合紧密；采用推拉式腔门，可以通过机械臂控制晶舟升降来实现反应过程中晶舟的放置取出，减少了人为干预，可以实现无接触反应。本实用新型与现有技术相比较体现了其腔门可调节的、自动化程度高、操作简单的优点。

技术领域

本实用新型涉及晶圆制造领域，尤其涉及晶圆制造中推拉球杆型可调式晶圆去胶机腔门装置。

背景技术

在半导体芯片的制造工艺中，在光刻结束之后要将剩余的光刻胶去除，此时就需要去胶机，去胶机的原理是在真空环境中通入少量氧气，加高电压电离氧气，形成的活化氧可以迅速的将光刻胶氧化为可挥发性气体。

2019年，石狮市扎南贸易有限公司田波发明了一种晶圆片去胶机（申请公布号：CN110517976A），其优点是在盖板的背面上设有四组的收集扇叶，对去胶产生的浮渣进行收集。其缺点是腔门关闭时出现不能完全密封不能很快调节，去除浮渣花费时间长，工作效率低。

2019年，泉州惠安泉创文化用品有限公司乐美华发明了一种对称式防回附的晶圆片去胶机（申请公布号：CN110993488A），其优点是设有的震荡结构与配动结构的相互作用，避免液体自离心旋转时产生的统一朝向漩涡作用下，发生回附的现象。其缺点是在震荡过程中清除液体对晶圆片造成较大的冲击，易造成损伤，腔门关闭时出现不完全密封不能很快调节，手动控制反应效率低。

针对以上问题，再与现有技术对比，设计了推拉球杆型可调式晶圆去胶机腔门装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有去胶机腔门不调节、操作复杂与自动化程度低等问题，从而提出的推拉球杆型可调式晶圆去胶机腔门装置。

为了解决上述问题，本实用新型采用了如下技术方案：

推拉球杆型可调式晶圆去胶机腔门装置，其特征是，包括反应腔、前腔门、后腔门、丝杠机构；所述前腔门位于反应腔前端，所述后腔门通过铰链置于反应腔后端；所述前腔门的内侧端连接有晶舟托杆，前腔门的外侧端连接挡板；

通过电机驱动丝杠机构，带动挡板沿反应腔轴向运动，以使前腔门闭合或开启；所述挡板通过球杆连接件与前腔门中心位置铰接，利用可调式机构对前腔门进行角度调节，使其与反应腔前端面契合。

进一步的，所述丝杠机构包括丝杆、滚珠套筒、丝杆尾座，所述丝杆尾座、电机分别固定设置，所述挡板为L型，所述滚珠套筒与挡板的侧部固定连接，所述丝杆尾座与设置在挡板侧部的导轨滑动配合；电机驱动丝杆，带动滚珠套筒，使挡板相对丝杆尾座直线位移，继而带动前腔门闭合或开启。

进一步的，所述电机通过皮带、带轮驱动丝杆。

进一步的，所述可调式机构为多组，沿前腔门周向均匀分布。

进一步的，每组可调式机构包括螺纹管、套筒、导杆、旋钮、固定轴承；所述套筒固定于挡板内侧端，所述旋钮通过固定轴承与挡板转动连接，旋钮的尾部置于套筒内，并和螺纹管内腔螺纹旋接；所述螺纹管的头部通过导杆安装于套筒内，并与导杆滑动配合；旋转旋钮，使螺纹管沿导杆直线运动，继而使螺纹管的尾端推动前腔门，以对前腔门角度调节。

进一步的，每组可调式机构还包括滚珠，所述滚珠置于所述螺纹管的尾端，所述前腔门在与滚珠对应位置设有与之配合的凹槽。

进一步的，所述球杆连接件包括球杆、球杆固定件，所述球杆固定件固定于前腔门中心位置，并设有锥形腔，所述球杆的球端置于该锥形腔内，所述球杆的杆件与挡板相连。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：