[实用新型]一种汞灯及制造晶圆的系统

说明书

本实用新型提供了一种汞灯及制造晶圆的系统，所述汞灯包括灯泡和灯箱，所述灯箱设置有进气口和排气口，所述进气口用于向所述灯箱内输入氮气或惰性气体，所述排气口用于排出所述灯箱内的氮气或惰性气体。本实用新型提供的一种汞灯及制造晶圆的系统，由于使用氮气或惰性气体吹扫汞灯，可以降低汞灯的温度，从而提高了汞灯的寿命，并且可以延缓光纤出现氧化、雾化和开裂的现象，提高了光纤的寿命。

技术领域

本实用新型涉及晶圆制造领域，特别涉及一种汞灯及制造晶圆的系统。

背景技术

目前通常使用Track(一种制造晶圆的自动化系统的型号)机台制造晶圆，Track机台通常包括涂胶装置和显影装置，涂胶装置用于对晶圆进行涂胶，显影装置用于对涂胶后曝过光的晶圆显影出指定的图案。其中，显影装置包括汞灯、光纤和镜头单元，光纤将汞灯发出的光传输至镜头单元，镜头单元输出的光可以对晶圆周边的胶进行切割。

然而，由于汞灯的温度较高，汞灯的照度随着使用寿命的增加逐渐降低，并且光纤容易出现氧化、雾化和开裂的现象，影响光的传输，严重时会因为WEE(Wafer EdgeExposure，晶圆边缘曝光)照度异常触发FDC(Fault Detect Control，故障检测控制)报警。

实用新型内容

本实用新型提供了一种汞灯及制造晶圆的系统，以解决现有的汞灯的温度较高的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种汞灯，所述汞灯包括灯泡和灯箱，所述灯箱设置有进气口和排气口，所述进气口用于向所述灯箱内输入氮气或惰性气体，所述排气口用于排出所述灯箱内的氮气或惰性气体。

可选的，所述进气口和所述灯泡位于同一水平面上。

可选的，所述进气口和所述排气口设置在所述灯箱的同一侧壁上。

可选的，所述进气口的个数和所述排气口的个数均为多个。

本实用新型还提供了一种制造晶圆的系统，所述系统包括上述任一项所述的汞灯、光纤和镜头单元；所述光纤的一端与所述灯箱连通，另一端与所述镜头单元连通。

可选的，所述系统还包括氮气输入管，所述氮气输入管的一端与氮气气源连通，另一端与三通接头连通；所述三通接头分别与第一输出管的一端和第二输出管的一端连通；所述第一输出管用于吹扫杂物，所述第二输出管的另一端贯穿所述灯箱的进气口。

可选的，所述三通接头与所述灯箱的进气口之间的所述第二输出管上设置有流量调节阀。

可选的，所述灯箱包括相互垂直的第一侧壁和第二侧壁，所述光纤的一端贯穿所述第一侧壁，所述进气口和所述排气口均贯穿所述第二侧壁。

本实用新型提供的一种汞灯及制造晶圆的系统，由于使用氮气或惰性气体吹扫汞灯，可以降低汞灯的温度，从而提高了汞灯的寿命，并且可以延缓光纤出现氧化、雾化和开裂的现象，提高了光纤的寿命。

附图说明

图1是本实用一实施例提供的一种汞灯的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例提供的一种汞灯、光纤和镜头单元组合后的结构示意图。

[附图标记说明如下]：

灯泡-1、灯箱-2、进气口-3、排气口-4、光纤-5、镜头单元-6、氮气输入管-7、三通接头-8、第一输出管-9、第二输出管-10、流量调节阀-11。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图对本实用新型提出的一种汞灯及制造晶圆的系统作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。