[实用新型]一种汞灯及制造晶圆的系统

权利要求书

1.一种汞灯，所述汞灯包括灯泡和灯箱，其特征在于，所述灯箱设置有进气口和排气口，所述进气口用于向所述灯箱内输入氮气或惰性气体，所述排气口用于排出所述灯箱内的氮气或惰性气体。

2.根据权利要求1所述的一种汞灯，其特征在于，所述进气口和所述灯泡位于同一水平面上。

3.根据权利要求1所述的一种汞灯，其特征在于，所述进气口和所述排气口设置在所述灯箱的同一侧壁上。

4.根据权利要求1所述的一种汞灯，其特征在于，所述进气口的个数和所述排气口的个数均为多个。

5.一种制造晶圆的系统，其特征在于，所述系统包括权利要求1-4任一项所述的汞灯、光纤和镜头单元；所述光纤的一端与所述灯箱连通，另一端与所述镜头单元连通。

6.根据权利要求5所述的一种制造晶圆的系统，其特征在于，所述系统还包括氮气输入管，所述氮气输入管的一端与氮气气源连通，另一端与三通接头连通；所述三通接头分别与第一输出管的一端和第二输出管的一端连通；所述第一输出管用于吹扫杂物，所述第二输出管的另一端贯穿所述灯箱的进气口。

7.根据权利要求6所述的一种制造晶圆的系统，其特征在于，所述三通接头与所述灯箱的进气口之间的所述第二输出管上设置有流量调节阀。

8.根据权利要求5所述的一种制造晶圆的系统，其特征在于，所述灯箱包括相互垂直的第一侧壁和第二侧壁，所述光纤的一端贯穿所述第一侧壁，所述进气口和所述排气口均贯穿所述第二侧壁。