[实用新型]一种倒装芯片封装注塑机新型柱塞有效
| 申请号: | 202022734494.X | 申请日: | 2020-11-23 |
| 公开(公告)号: | CN214279910U | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
| 发明(设计)人: | 陈海洋;周开宇;陈青;糜佳冰;周浩明 | 申请(专利权)人: | 海太半导体(无锡)有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
| 代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人: | 赵华 |
| 地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 倒装 芯片 封装 注塑 新型 柱塞 | ||
本实用新型提供一种倒装芯片封装注塑机新型柱塞,包括冲头,冲头底部安装有树脂溢料收集槽,树脂溢料收集槽安装有铸体,铸体内部安装有推进丝杆,推进丝杆向下延伸至铸体外端。本实用新型能够避免溢入的树脂保留在间隙内加大摩擦,从而导致注塑中断;防止融化的封装树脂带出柱塞与料筒壁之间的固化的封装树脂碎片;同时可以定期清理槽内杂物。
技术领域
本实用新型主要涉及柱塞技术领域,尤其涉及一种倒装芯片封装注塑机新型柱塞。
背景技术
目前半导体芯片封装主要使用的是注塑成型封装设备。由封装树脂在料筒内融化,再由柱塞挤压融化的封装树脂,通过注塑口流到模具内部和半导体待封装材料表面。通过加压从模具边缘排气槽中排出液态树脂注塑过程中包含的氧气,同时模具内部高温逐渐使封装树脂渐渐反应凝固及固化,完成塑封。注塑过程中,由于柱塞与料筒壁作业时发生摩擦,因此柱塞和料筒壁之间作业长久之后会存在间隙。目前Flip chip倒装芯片封装技术的应用,Flip chip材料使用的封装树脂较小。及容易溢到柱塞及料筒壁的间隙中,等待固化后形成片状物质。在下一次注塑过程中随着融化的封装树脂流到模具内部及待封装材料表面。导致半导体材料性能失效,发生不良。
实用新型内容
针对现有技术的上述缺陷,本实用新型提供一种倒装芯片封装注塑机新型柱塞,包括冲头4,所述冲头4底部安装有树脂溢料收集槽2,树脂溢料收集槽2安装有铸体5,铸体5内部安装有推进丝杆3,推进丝杆3向下延伸至铸体5外端。
优选的,所述推进丝杆3末端连接动力马达。
优选的,所述冲头4、树脂溢料收集槽2、铸体5组成柱塞6。
优选的,所述柱塞6外部设有料筒。
本实用新型通过在柱塞头部开一圈垂直于柱塞运动方向的槽。当柱塞和料筒开始出现缝隙时,封装树脂进入缝隙,最终逐渐一点点集中到柱塞头部开设的槽内,并固化,和现有技术相比,优点在于
1.避免溢入的树脂保留在间隙内加大摩擦,从而导致注塑中断;
2.下一模作业时,防止融化的封装树脂带出柱塞与料筒壁之间的固化的封装树脂碎片;
3.可以定期对槽内进行清理,减少一定的摩檫及损耗。
附图说明
图1为本实用新型的结构图;
图中,
2、树脂溢料收集槽;3、推进丝杆;4、冲头;5、铸体;6、柱塞。
具体实施方式
为了使本技术领域人员更好地理解本发明的技术方案,并使本发明的上述特征、目的以及优点更加清晰易懂,下面结合实施例对本发明做进一步的说明。实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。
如图1所示可知,本实用新型包括有:冲头4,冲头4底部安装有树脂溢料收集槽2,树脂溢料收集槽2安装有铸体5,铸体5内部安装有推进丝杆3,推进丝杆3向下延伸至铸体5外端。
在本实施中优选的,推进丝杆3末端连接动力马达。
在本实施中优选的,冲头4、树脂溢料收集槽2铸体5组成柱塞6。
在本实施中优选的,柱塞6外部设有料筒。
在使用中,冲头4树脂收集槽2铸体5组成柱塞,推进丝杆3接在柱塞底部,安装在料筒内,马达带动推进丝杆3转动,从而柱塞在料筒内推动融化的注塑树脂进料,当融化的树脂通过料筒和柱塞之间的间隙下溢时,树脂流入树脂溢料收集槽2内,并固化。并设定定期进行清理。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





