[实用新型]一种镀膜装置有效

专利信息
申请号: 202022692883.0 申请日: 2020-11-19
公开(公告)号: CN213924995U 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 王荣福 申请(专利权)人: 深圳市汉嵙新材料技术有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/56;B08B1/02;B08B13/00
代理公司: 深圳市博锐专利事务所 44275 代理人: 林栋
地址: 518000 广东省深圳市光明*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜 装置
【权利要求书】:

1.一种镀膜装置,包括镀膜室,所述镀膜室内设有镀膜辊和位于所述镀膜辊下方的若干个磁控溅射靶,其特征在于:所述镀膜室内还设有清洁机构,所述清洁机构包括毛刷辊、刮刀、第一清洁辊和第二清洁辊,所述毛刷辊设置在镀膜辊上方并与所述镀膜辊接触,所述毛刷辊的一侧设有所述刮刀及所述第一清洁辊,所述毛刷辊的另一侧设有所述第二清洁辊,所述刮刀的刀锋贴近所述镀膜辊设置,所述第一清洁辊和第二清洁辊上均套设有硅胶粘层,所述第一清洁辊和所述第二清洁辊分别通过所述硅胶粘层与所述镀膜辊滚动接触,其中,所述第一清洁辊靠近所述刮刀的刀锋处设置。

2.根据权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于:所述清洁机构还包括第一胶纸卷辊和第二胶纸卷辊,所述第一胶纸卷辊设于所述第一清洁辊上方并与所述第一清洁辊滚动接触,所述第二胶纸卷辊设于所述第二清洁辊的上方并与所述第二清洁辊滚动接触,所述第一胶纸卷辊和第二胶纸卷辊上均套设有粘尘纸卷。

3.根据权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于:所述毛刷辊上设置有多条毛刷,所述毛刷辊通过所述毛刷接触所述镀膜辊。

4.根据权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于:还包括用于驱动所述毛刷辊转动的驱动电机,所述毛刷辊的转动方向与所述镀膜辊的转动方向相同。

5.根据权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于:还包括设于所述镀膜室内的防护罩,所述清洁机构安装于所述防护罩内。

6.根据权利要求5所述的镀膜装置,其特征在于:所述防护罩内设有真空吸嘴。

7.根据权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于:所述镀膜室内还设有第一导辊。

8.根据权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于:还包括放卷室和收卷室,所述放卷室与所述镀膜室通过第一狭缝连通,所述收卷室与所述镀膜室通过第二狭缝连通。

9.根据权利要求8所述的镀膜装置,其特征在于:所述放卷室内设有放卷辊,所述收卷室内设有收卷辊。

10.根据权利要求9所述的镀膜装置,其特征在于:所述放卷室内和所述收卷室内分别设有第二导辊。

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