[实用新型]一种用于镀铝层高附着力薄膜的设备有效

专利信息
申请号: 202022683287.6 申请日: 2020-11-19
公开(公告)号: CN213866395U 公开(公告)日: 2021-08-03
发明(设计)人: 唐卓灿;颜晓阳;李锋杰 申请(专利权)人: 广东雄华新材料科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/14
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 515000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 镀铝 层高 附着力 薄膜 设备
【权利要求书】:

1.一种用于镀铝层高附着力薄膜的设备,具有真空室(4),真空室(4)中包括有膜导向机构(5),蒸发器(1)及挡板驱动机构,于蒸发器(1)上方为左右对向设置的旋转挡板(2),挡板驱动机构通过转轴(8)驱动旋转挡板(2)旋转,其特征在于:所述膜导向机构(5)引导基材依次经过等离子发射器(6)、蒸发器(1),旋转挡板(2)内部中空,旋转挡板(2)中空部分设置有若干纵横交错呈网格状的加强筋,还包括分别位于横向布置的加强筋上下方的水管(3),所述旋转挡板(2)端部具有台阶位(21),两左右对向设置的旋转挡板(2)的台阶位(21)能够相互契合衔接。

2.根据权利要求1所述的一种用于镀铝层高附着力薄膜的设备,其特征在于:所述旋转挡板(2)厚度为8-10cm,旋转挡板(2)内部中空且中空位置厚度为4-5cm。

3.根据权利要求1所述的一种用于镀铝层高附着力薄膜的设备,其特征在于:所述水管(3)直径为16mm。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种用于镀铝层高附着力薄膜的设备,其特征在于:所述水管(3)在若干纵向布置的加强筋中呈蛇形布置。

5.根据权利要求4所述的一种用于镀铝层高附着力薄膜的设备,其特征在于:所述水管(3)两端部贯穿旋转挡板(2)的两侧分别为进水头(31)与出水头(32)。

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