[实用新型]一种光学镀层阴极体

说明书

本实用新型属于镀膜设备部件技术领域，尤其是一种光学镀层阴极体，包括阴极体座和靶材，所述阴极体座的一侧开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有绝缘接头，所述绝缘接头的表面安装有连接装置，通过所述连接装置连接靶材和阴极体座，所述连接装置包括螺纹套管，所述螺纹套管的截面呈空心圆环状。该光学镀层阴极体，通过设置利用将靶材与阴极体座通过连接装置进行连接，通过连接装置内的弹簧片在螺纹套管的带动下，通过卡块和卡轴带动弹簧片进行折叠，由于固定轴插入插孔内，将弹簧片的另一端相对固定，使得弹簧片螺旋折叠，随着螺纹套管的转动，使得弹簧片中心的靶材被夹紧固定，从而使得具有便于对靶材进行拆卸安装的特点。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备部件技术领域，尤其涉及一种光学镀层阴极体。

背景技术

在中国专利网站上公开的真空离子镀膜设备的阴极体座的保护装置(公开号为：CN211227312U)，虽然解决了传统的靶材在真空室内进行弧光放电时，弧光放电会从靶材表面蔓延到阴极体座外壁上，导致阴极体座外壁被逐渐的刻蚀消耗，从而缩短阴极体座的使用寿命的技术问题，但依然存在以下问题：

1、阴极电弧靶座用于产生磁场的线圈的轴线均垂直于靶材的端面，为获得更高的平行于靶材端面的磁场分量，需要保证靶材端面表面各点磁场大小的一致性，从而使得靶材的加工精度和成本增加，从而不便于在靶材的表面加工出螺纹与阴极体座表面的接头结构进行连接，因而需要在便于靶材与阴极体座连接的同时减少对靶材表面的加工。

实用新型内容

基于现有的靶材加工成本和精度高，不便于加工出连接结构与阴极体座连接的技术问题，本实用新型提出了一种光学镀层阴极体。

本实用新型提出的一种光学镀层阴极体，包括阴极体座和靶材，所述阴极体座的一侧开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有绝缘接头，所述绝缘接头的表面安装有连接装置，通过所述连接装置连接靶材和阴极体座，所述连接装置包括螺纹套管，所述螺纹套管的截面呈空心圆环状。

优选地，所述螺纹套管的内侧壁与绝缘接头的表面螺纹连接，所述螺纹套管的前端内壁滑动连接有弹簧片，所述弹簧片在螺纹套管的内部螺旋折叠成圆筒状。

通过上述技术方案，利用弹簧片在螺纹套管的内部螺旋折叠成圆筒状，从而便于通过弹簧片的收缩对靶材进行夹紧固定。

优选地，所述弹簧片的一端固定连接有卡轴，所述螺纹套管的侧壁前端内壁固定连接有卡块，所述卡块呈表面开口空心圆柱状，所述卡块的内壁卡接有卡轴。

通过上述技术方案，利用卡块呈表面开口空心圆柱状，从而便于卡轴插入卡块内进行固定。

优选地，所述弹簧片的另一端固定连接有固定轴，所述绝缘接头的表面固定连接垫片，所述绝缘接头的侧壁开设有插孔。

通过上述技术方案，利用在弹簧片的另一端固定连接有固定轴，所述便于对弹簧片一端的固定。

优选地，所述插孔的侧壁与固定轴的侧壁适配，所述插孔的内壁滑动插接有固定轴。

通过上述技术方案，利用将固定轴的一端插入插孔内，从而便于通过固定轴对弹簧片进行固定。

优选地，所述弹簧片的一侧表面固定连接有防滑垫，所述防滑垫的侧壁表面与弹簧片的表面中心对齐。

通过上述技术方案，利用在弹簧片的一侧表面固定连接有防滑垫，从而便于靶材的侧壁进行防护。

优选地，所述螺纹套管的内侧与靶材的侧壁滑动套接，所述靶材的外侧壁与防滑垫的表面滑动连接。

通过上述技术方案，利用在靶材的外侧壁滑动连接有防滑垫，从而便于对靶材进行防滑固定。

本实用新型中的有益效果为：