[实用新型]一种光学镀层阴极体

权利要求书

1.一种光学镀层阴极体，包括阴极体座(1)和靶材(2)，其特征在于：所述阴极体座(1)的一侧开设有凹槽(3)，所述凹槽(3)的内部设置有绝缘接头(4)，所述绝缘接头(4)的表面安装有连接装置，通过所述连接装置连接靶材(2)和阴极体座(1)，所述连接装置包括螺纹套管(5)，所述螺纹套管(5)的截面呈空心圆环状。

2.根据权利要求1所述的一种光学镀层阴极体，其特征在于：所述螺纹套管(5)的内侧壁与绝缘接头(4)的表面螺纹连接，所述螺纹套管(5)的前端内壁滑动连接有弹簧片(6)，所述弹簧片(6)在螺纹套管(5)的内部螺旋折叠成圆筒状。

3.根据权利要求2所述的一种光学镀层阴极体，其特征在于：所述弹簧片(6)的一端固定连接有卡轴(7)，所述螺纹套管(5)的侧壁前端内壁固定连接有卡块(8)，所述卡块(8)呈表面开口空心圆柱状，所述卡块(8)的内壁卡接有卡轴(7)。

4.根据权利要求3所述的一种光学镀层阴极体，其特征在于：所述弹簧片(6)的另一端固定连接有固定轴(9)，所述绝缘接头(4)的表面固定连接垫片(10)，所述绝缘接头(4)的侧壁开设有插孔(11)。

5.根据权利要求4所述的一种光学镀层阴极体，其特征在于：所述插孔(11)的侧壁与固定轴(9)的侧壁适配，所述插孔(11)的内壁滑动插接有固定轴(9)。

6.根据权利要求4所述的一种光学镀层阴极体，其特征在于：所述弹簧片(6)的一侧表面固定连接有防滑垫(12)，所述防滑垫(12)的侧壁表面与弹簧片(6)的表面中心对齐。

7.根据权利要求6所述的一种光学镀层阴极体，其特征在于：所述螺纹套管(5)的内侧与靶材(2)的侧壁滑动套接，所述靶材(2)的外侧壁与防滑垫(12)的表面滑动连接。