[实用新型]一种多支撑超长石英舟有效
申请号: | 202022659055.7 | 申请日: | 2020-11-17 |
公开(公告)号: | CN213905321U | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 汤芳;常永喜 | 申请(专利权)人: | 浙江浩锐石英科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 313106 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 支撑 超长 石英 | ||
1.一种多支撑超长石英舟,包括固定块(1)和软塞(6),其特征在于:所述固定块(1)的底部连接有旋转块(2);
所述旋转块(2)的内部连接有第一石英杆(3),所述第一石英杆(3)的一端表面连接有石英板(4),所述石英板(4)的表面开设有卡槽(5),所述软塞(6)的内壁连接有卡槽(5),所述软塞(6)的一侧连接有连接软杆(7);
所述连接软杆(7)的底部连接有软套(8),所述石英板(4)的内部连接有弹簧(9),所述弹簧(9)的底部连接有弹块(10),所述弹块(10)的底部连接有第二石英杆(11)。
2.根据权利要求1所述的一种多支撑超长石英舟,其特征在于:所述固定块(1)和旋转块(2)垂直连接,固定块(1)和旋转块(2)设置有两个,且固定块(1)和旋转块(2)沿第一石英杆(3)的垂直平分线相互对称和平行。
3.根据权利要求1所述的一种多支撑超长石英舟,其特征在于:所述第一石英杆(3)的表面设置有螺纹形状,旋转块(2)的内部开设有螺纹槽,且第一石英杆(3)表面的螺纹形状和旋转块(2)内部的螺纹槽内壁尺寸相互吻合,旋转块(2)和第一石英杆(3)连接处构成螺纹连接结构。
4.根据权利要求1所述的一种多支撑超长石英舟,其特征在于:所述软塞(6)的剖面为半圆形,软塞(6)和连接软杆(7)的连接处相互垂直,软塞(6)和卡槽(5)的内壁尺寸相互吻合,软塞(6)和卡槽(5)的连接处构成卡合连接结构。
5.根据权利要求1所述的一种多支撑超长石英舟,其特征在于:所述弹簧(9)和弹块(10)分别设置有四个,且每两个弹簧(9)和弹块(10)为一组,两组弹簧(9)和弹块(10)沿第二石英杆(11)的垂直平分线相互对称。
6.根据权利要求1所述的一种多支撑超长石英舟,其特征在于:所述第二石英杆(11)的表面开设有弧形槽,弹簧(9)和弹块(10)的连接处相互垂直,弹块(10)的一端和第二石英杆(11)表面的弧形槽内壁尺寸相互吻合,弹簧(9)通过弹块(10)和第二石英杆(11)的连接处构成弹性卡合结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造