[实用新型]一种用于半导体膜状扩散源的半自动裁切设备

权利要求书

1.一种用于半导体膜状扩散源的半自动裁切设备，其特征是：包括底座（1）、横梁装置（2）、Z轴装置（3）、液压站、控制系统和手动操控盒；

横梁装置（2）置于底座（1）上，横梁装置（2）与底座（1）构成沿X轴的一组移动副；Z轴装置（3）置于横梁装置（2）上，Z轴装置（3）与横梁装置（2）构成沿Y轴的一组移动副，X轴、Y轴、Z轴相互垂直，横梁装置（2）和Z轴装置（3）的移动通过控制系统进行控制；

底座（1）包括光滑平整的工作台面（101），工作台面（101）用于承载大块半导体膜状扩散源（4）；

Z轴装置（3）包括安装板（301）、液压缸（302）和裁切刀具（307），液压缸（302）的缸体固定在安装板（301）上，液压缸（302）的活塞杆沿Z轴伸缩动作；裁切刀具（307）包括刀具安装头（71）、刀具（73）、压片（76）和回弹结构；刀具安装头（71）包括一体连接的连接杆（711）和刀具安装柱（712），连接杆（711）固定在液压缸（302）的活塞杆端部；刀具（73）用于将待加工的大块半导体膜状扩散源（4）切割为圆片状的半导体膜状扩散源成品（401），刀具（73）固定在刀具安装柱（712）的底部；压片（76）通过回弹结构与刀具安装柱（712）相连，用于按压刀具（73）正对区域中的半导体膜状扩散源；液压缸（302）通过电磁阀和液压管与液压站相连，液压缸的动作通过手动操控盒进行控制。

2.根据权利要求1所述的用于半导体膜状扩散源的半自动裁切设备，其特征是：所述回弹结构包括螺杆（75）、弹簧（74）和螺母（72）；所述刀具安装头（71）的刀具安装柱（712）上设有小通孔（7124）、大通孔（7125）和手孔（7123），小通孔（7124）和大通孔（7125）均与刀具安装柱（712）同轴，手孔（7123）与刀具安装柱（712）垂直，大通孔（7125）与刀具安装柱（712）的外端相通，小通孔（7124）位于大通孔（7125）和手孔（7123）之间并连通大通孔（7125）和手孔（7123），在小通孔（7124）和大通孔（7125）的连通处形成弹簧限位台（7126）；螺杆（75）的第一端与压片（76）同轴固定连接，弹簧（74）套接在螺杆（75）上，螺杆（75）的第二端穿过大通孔（7125）和小通孔（7124）并与螺母（72）固定连接，螺母（72）位于手孔（7123）中；通过旋拧螺母（72）调整弹簧（74）的初始状态，使压片（76）位于刀具（73）的下方，且弹簧（74）仍具有压缩量ε，ε大于最大加工厚度。

3.根据权利要求1或2所述的用于半导体膜状扩散源的半自动裁切设备，其特征是：所述刀具（73）包括圆环（731）和圆撑（732），圆撑（732）同轴固定在圆环（731）的内壁上；圆环（731）通过卡箍（77）可拆卸地固定在刀具安装头（71）上。

4.根据权利要求3所述的用于半导体膜状扩散源的半自动裁切设备，其特征是：所述刀具安装头（71）的刀具安装柱（712）上设有法兰（713）；法兰（713）靠近刀具安装柱（712）的外端面，刀具安装柱（712）的外端面为端限位面（7121），端限位面（7121）与法兰（713）之间设有圆周限位面（7122）；圆环（731）通过卡箍（77）可拆卸地固定在圆周限位面（7122）上，刀具（73）的圆撑（732）通过端限位面（7121）定位；刀具（73）的圆撑（732）上设有让位孔（733），让位孔（733）用于使螺杆（75）和弹簧（74）得以通过。

5.根据权利要求1所述的用于半导体膜状扩散源的半自动裁切设备，其特征是：所述Z轴装置（3）上设有手动压纸结构，手动压纸结构包括压板（309）和控制压板（309）下压及回复的手动下压/复位机构，压板（309）上设有供裁切刀具（307）通过的通孔。

6.根据权利要求5所述的用于半导体膜状扩散源的半自动裁切设备，其特征是：所述手动下压/复位机构包括手动压件（304）、压杆（308）、导向件（306）和拉簧（303）；手动压件（304）是由一对侧杆（3041）和把手（3042）构成的U型件，两侧杆（3041）的端部铰接在安装板（301）上，侧杆（3041）上设有长腰型孔；压杆（308）的数量为2根，2根压杆（308）与压板（309）固定连接，每根压杆（308）上固定有传力螺钉（312），传力螺钉（312）的悬出端置于手动压件（304）的侧杆（3041）上的长腰型孔中；导向件（306）固定在安装板（301）上，用于压杆（308）的上下导向；拉簧（303）用于连接手动压件（304）与安装板（301）；人工下压手动压件（304），拉簧（303）拉长，压杆（308）通过传力螺钉（312）被压下，进而使压板（309）被压下；人工放开手动压件（304），则拉簧（303）恢复原状，压板（309）位置恢复原状。