[实用新型]一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置

说明书

本实用新型公开一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置，包括：真空放电腔，用于进行真空放电产生等离子体；真空分流板，设置于真空放电腔的抽气口处；所述真空分流板上设有N个抽气孔；所述N为大于或等于2的正整数。本实用新型设置的核心元件真空分流板固定于真空放电腔侧面内壁真空口一侧，真空分流板上分布着一排排抽真空小孔，将原来真空放电腔上只有一个较大的抽气孔分流为真空分流板上数百个较小的抽气孔，改变了真空放电腔内真空放电电场的分布，使其更加均匀，从而极大地改善了等离子清洗产品的效果，同时也消除了烧伤、吸出产品的不安全因素。

技术领域

本实用新型属于片式等离子清洗机技术领域，特别涉及一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置。

背景技术

等离子清洗机也叫等离子清洁机，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

在片式等离子清洗机领域，目前现有的片式等离子清洗机真空放电腔只有一个较大的抽气孔，在此孔周围容易形成局部较强的放电电场，放电不均匀，影响等离子清洗产品的效果并伴随烧伤产品的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置，以解决现有片式等离子清洗机真空放电腔真空放电不均的技术问题。

为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置，包括：

真空放电腔，用于进行真空放电产生等离子体；

真空分流板，设置于真空放电腔的抽气口处；所述真空分流板上设有N个抽气孔；所述N为大于或等于2的正整数。

本实用新型进一步的改进在于：真空放电腔中部凹陷。

本实用新型进一步的改进在于：真空放电腔的底部固定设置有电极板垫板。

本实用新型进一步的改进在于：电极板垫板上固定有放电阳极。

本实用新型进一步的改进在于：电极板垫板由绝缘材料制成。

本实用新型进一步的改进在于：真空放电腔的顶部固定有与放电阳极相对设置的放电阴极。

本实用新型进一步的改进在于：放电阴极与真空放电腔之间设有密封圈。

本实用新型进一步的改进在于：密封圈安装于真空放电腔的密封槽里。

本实用新型进一步的改进在于：真空分流板从中心向两边对称排布有若干层抽气口。

本实用新型进一步的改进在于：真空分流板的中心区域布置的抽气孔直径为1mm；中心区域两侧布置的抽气孔直径为1.5mm；最外侧区域布置的抽气孔直径为2mm。

相对于现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型设置的核心元件真空分流板固定于真空放电腔侧面内壁真空口一侧，真空分流板上分布着一排排抽真空小孔，将原来真空放电腔上只有一个较大的抽气孔分流为真空分流板上数百个较小的抽气孔；原来真空放电腔只有一个抽气孔时，在此孔周围形成局部较强的放电电场，影响等离子清洗产品的效果并伴随烧伤产品的风险，通过增加真空分流孔后，改变了真空放电腔内真空放电电场的分布，使其更加均匀，从而极大地改善了等离子清洗产品的效果，同时也消除了烧伤、吸出产品的不安全因素。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：