[实用新型]一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置有效
| 申请号： | 202022601667.0 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN213847105U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 何辛峰 | 申请（专利权）人： | 华天科技（宝鸡）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;B08B7/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 安彦彦 |
| 地址： | 721000 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 清洗 真空 放电 分流 装置 | ||
1.一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置，其特征在于，包括：
真空放电腔(1)，用于进行真空放电产生等离子体；
真空分流板(5)，设置于真空放电腔(1)的抽气口处；所述真空分流板(5)上设有N个抽气孔；所述N为大于或等于2的正整数。
2.根据权利要求1所述的一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置，其特征在于，真空放电腔(1)中部凹陷。
3.根据权利要求1所述的一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置，其特征在于，真空放电腔的底部固定设置有电极板垫板(3)。
4.根据权利要求3所述的一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置，其特征在于，电极板垫板(3)上固定有放电阳极。
5.根据权利要求3所述的一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置，其特征在于，电极板垫板(3)由绝缘材料制成。
6.根据权利要求4所述的一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置，其特征在于，真空放电腔(1)的顶部固定有与放电阳极相对设置的放电阴极。
7.根据权利要求6所述的一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置，其特征在于，放电阴极与真空放电腔(1)之间设有密封圈(2)。
8.根据权利要求7所述的一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置，其特征在于，密封圈(2)安装于真空放电腔(1)的密封槽里。
9.根据权利要求1所述的一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置，其特征在于，真空分流板(5)从中心向两边对称排布有若干层抽气口。
10.根据权利要求9所述的一种片式等离子清洗机真空放电腔分流装置，其特征在于，真空分流板(5)的中心区域布置的抽气孔直径为1mm；中心区域两侧布置的抽气孔直径为1.5mm；最外侧区域布置的抽气孔直径为2mm。
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