[实用新型]一种新型三自由度柔性精密定位平台

说明书

本实用新型公开了一种新型三自由度柔性精密定位平台，包括压电陶瓷驱动器、柔性铰链、连接板、第一可动横梁、第二可动横梁、动平台、安装槽、基板和连接机构，本实用新型通过设置了连接机构于压电陶瓷驱动器外侧，通过向下推动推杆带动齿条向下移动，而齿条则带动齿轮转动，并且齿轮通过传动板带动套筒沿着导向杆向外移动，以及套筒带动第二连接板和复位弹簧向外移动，从而实现复位弹簧拉动T型卡板向外移动脱离卡槽内侧，然后可将U型板带动压电陶瓷驱动器进行拆卸更换，达到了更加方便快速的对压电陶瓷驱动器进行拆卸更换，提高了工作效率的有益效果。

技术领域

本实用新型涉及定位平台相关领域，具体是一种新型三自由度柔性精密定位平台。

背景技术

随着科技的发展，在超精密加工、微电子工程、生物工程、纳米技术等领域都迫切需要亚微米级甚至纳米级的精密定位技术，最典型的应用在于纳米器件的制造生产，纳米器件包括纳米电子器件和纳米光电器件，可广泛应用于电子学、光学、微机械装置、新型计算机等，是当今新材料与新器件研究领域中最富有活力的研究领域，也是元器件小型化、智能化、高集成化等的主流发展方向，纳米器件由于具有潜在的巨大市场和国防价值，使得其设计和制造的方法、途径、工艺等成为众多科学家、政府和大型企业研究和投资的热点，所以大力发展精密定位技术是大势所趋，是创新科技进步的具体体现，而三自由度精密定位平台为其中的一种。

当三自由度精密定位平台在使用的过程中需要使用到压电陶瓷驱动器，而压电陶瓷驱动器结构相对复杂，并且通常采用卡接的方式进行安装，其安装步骤相对较为复杂，不便于后期的拆卸更换。

实用新型内容

因此，为了解决上述不足，本实用新型在此提供一种新型三自由度柔性精密定位平台。

本实用新型是这样实现的，构造一种新型三自由度柔性精密定位平台，该装置包括压电陶瓷驱动器和柔性铰链，所述压电陶瓷驱动器设置有四个于安装槽内侧四端，且压电陶瓷驱动器输出端相连接于柔性铰链，所述连接机构设置于压电陶瓷驱动器外侧，所述连接机构包括U型板、安放槽、推杆、放置槽、齿条、弹簧、齿轮、传动机构、第二连接板、T型卡板、复位弹簧和卡槽，所述U型板内侧锁合于压电陶瓷驱动器侧表面，且U型板活动伸入于基板顶端面后端开设的安放槽内侧，所述推杆穿过基板顶端面后相连接于齿条顶端面中部，所述放置槽设置于基板内部后端，所述齿条滑动安装于放置槽内侧右端面，且齿条通过弹簧相连接于放置槽内侧底端面，所述齿轮前端面中部通过转轴与安放槽内侧前端转动连接，且齿轮通过传动机构带动第二连接板左右移动，并且齿轮与齿条相互啮合，所述T型卡板外侧右端贯穿于第二连接板左端面中部，且T型卡板穿过安放槽内侧左端面顶部后活动伸入于U型板右端面开设的卡槽内侧，所述复位弹簧两端分别固定连接于T型卡板内侧左端面和第二连接板左端面中部。

优选的，所述柔性铰链与连接板固定连接，所述连接板安装于第一可动横梁外侧，所述第一可动横梁紧固于第二可动横梁后端面，所述第二可动横梁相连接于动平台侧表面，所述动平台设置于安装槽内侧底端中部，所述安装槽开设于基板顶端面中部。

优选的，所述传动机构包括传动板、套筒、导向杆和限位环，所述传动板前端面上下两侧通过转轴分别与套筒后端面中部和齿轮后端面边沿处转动连接，所述套筒内圈贴合于导向杆侧表面，且套筒顶端面中部紧固于第二连接板底端面，所述导向杆安装于安放槽内侧左端面顶部，所述限位环内圈紧固于导向杆外侧右端。

优选的，所述推杆为T型结构，且推杆顶端面设置有橡胶片。

优选的，所述U型板内侧端面设置有硅胶片，且硅胶片厚度为0.1cm至0.2cm。

优选的，所述第二连接板左端面垂直于T型卡板顶端面，且第二连接板长度相对应于安放槽内侧宽度。

优选的，所述T型卡板顶端面左端与顶端面右端呈120°夹角，且T型卡板底端面垂直于左端面。

优选的，所述限位环右端面相齐平于导向杆右端面，且导向杆侧表面为光滑无毛刺。