[实用新型]一种用于多晶硅生产中的硅粉过滤器

说明书

本实用新型公开了一种用于多晶硅生产中的硅粉过滤器，属于多晶硅生产技术领域，包括花板和滤芯，所述花板上开设有多个连接孔，所述滤芯为顶部开口且侧壁设有滤孔的滤芯，所述连接孔的内壁上设有内螺纹，所述滤芯的上部外侧设有外螺纹，所述滤芯通过螺纹与连接孔连接，安装后的滤芯顶部伸出连接孔的上平面，解决现有技术中的多晶硅生产中的硅粉过滤器连接结构，容易因为受到滤芯出来的气体的冲刷，导致滤芯连接部容易破损，从而导致泄漏硅粉的问题。

技术领域

本实用新型属于多晶硅生产技术领域，具体涉及一种用于多晶硅生产中的硅粉过滤器。

背景技术

本在改良西门子法制备多晶硅工艺过程中，还原副产物SiCl₄目前基本都采用冷氢化技术，反应原理即Si+2H₂+3SiCl₄=4SiHCl₃，工作温度在550℃左右，压力在20-30barG范围内进行处理。在实际生产过程中，冷氢化流化床会夹带一部分硅粉进入后续系统，造成工艺设备和管线“堵”和“磨损”的问题。

通常在流化床反应器后，通过设置旋风分离器将直径为5um以上的固体进行拦截，可以减缓“堵”和“磨损”的问题。但5um以下的固体颗粒，仍存在不能完全拦截的问题，多晶硅生产线上常常通过安装金属烧结的过滤器，进行有效拦截微小尺寸的固体颗粒，解决工艺系统“堵”和“磨损”的问题。

目前金属烧结的过滤器，其滤芯是通过螺纹连接安装在花板上（花板在上，滤芯在下），花板用于装配滤芯，安装结构如附图1所示，采用常见的连接结构，这样的安装结构在使用中，发现常存在以下问题：

1.滤芯顶部未伸出花板，在在气体从滤芯出来后，容易冲刷花板的连接部位；

2.滤芯只能花板下面安装，而且只能从内到外安装，安装空间受限，便利性不高；

3.当安装在中央的滤芯破损后，无法定点堵漏；

4.难以更换，当安装在中央的滤芯破损需要更换时，需要将外围的滤芯拆卸下来，才能更换中央的破损滤芯。

所以，亟需设计一种更巧妙的结构，提高工作效率，减轻工作人员的劳动强度。

实用新型内容

本实用新型旨在解决现有技术中的多晶硅生产中的硅粉过滤器连接结构，容易因为受到滤芯出来的气体的冲刷，导致滤芯连接部容易破损，从而导致泄漏硅粉的问题。

为了实现上述发明目的，本实用新型的技术方案如下：

一种用于多晶硅生产中的硅粉过滤器，包括花板和滤芯，所述花板上开设有多个连接孔，所述滤芯为顶部开口且侧壁设有滤孔的滤芯，所述连接孔的内壁上设有内螺纹，所述滤芯的上部外侧设有外螺纹，所述滤芯通过螺纹与连接孔连接，安装后的滤芯顶部伸出连接孔的上平面。

进一步地，所述滤芯的上部为管锥连接头, 所述滤芯上的螺纹为管锥螺纹。

进一步地，所述滤芯的上部外侧设有内外螺母，所述内外螺母的内侧通过螺纹与滤芯的上部连接；内外螺母的外侧通过螺纹与连接孔连接。

进一步地，所述内外螺母装配后，内外螺母的上端高于连接孔的上平面。

进一步地，所述内外螺母的内螺纹与外螺纹的旋转方向相反。

进一步地，所述滤芯滤孔的孔径不大于100um。

本实用新型的有益效果：

一、本实用新型中，本硅粉过滤器是在原有的结构上进行改进的结构，此处滤芯一般采用金属烧结的滤芯，滤芯顶部用于连接花板的部分结构伸出花板的上表面，可以减轻气体对花板的直接冲刷，进而增加滤芯的使用寿命；同时，滤芯顶部伸出花板这样的结构，当滤芯破损泄漏时，可以在滤芯顶部伸出花板部分，通过带内螺纹的堵头进行封堵，而不用更换滤芯。