[实用新型]一种用于多晶硅生产中的硅粉过滤器

权利要求书

1.一种用于多晶硅生产中的硅粉过滤器，其特征在于：包括花板（1）和滤芯（2），所述花板（1）上开设有多个连接孔（3），所述滤芯（2）为顶部开口且侧壁设有滤孔的滤芯（2），所述连接孔（3）的内壁上设有内螺纹（4），所述滤芯（2）的上部外侧设有外螺纹（5），所述滤芯（2）通过螺纹与连接孔（3）连接，安装后的滤芯（2）顶部伸出连接孔（3）的上平面。

2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产中的硅粉过滤器，其特征在于：所述滤芯（2）的上部为管锥连接头（7）, 所述滤芯（2）上的螺纹为管锥螺纹（8）。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于多晶硅生产中的硅粉过滤器，其特征在于：所述滤芯（2）的上部外侧设有内外螺母（6），所述内外螺母（6）的内侧通过螺纹与滤芯（2）的上部连接；内外螺母（6）的外侧通过螺纹与连接孔（3）连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于多晶硅生产中的硅粉过滤器，其特征在于：所述内外螺母（6）装配后，内外螺母（6）的上端高于连接孔（3）的上平面。

5.根据权利要求4所述的一种用于多晶硅生产中的硅粉过滤器，其特征在于：所述内外螺母（6）的内螺纹（4）与外螺纹（5）的旋转方向相反。

6.根据权利要求5所述的一种用于多晶硅生产中的硅粉过滤器，其特征在于：所述滤芯（2）滤孔的孔径不大于100um。