[实用新型]一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉有效

专利信息
申请号: 202022533796.0 申请日: 2020-11-05
公开(公告)号: CN213528678U 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 毕丽锋;全海彪 申请(专利权)人: 湖南众合气体有限公司
主分类号: B01J19/24 分类号: B01J19/24
代理公司: 长沙中海宏图专利代理事务所(普通合伙) 43224 代理人: 梁钜喜
地址: 412000 湖南省株*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体材料 生产 工用 便于 移动 氧化
【说明书】:

实用新型公开了一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉,包括底板,所述底板底部的四角均通过支撑杆固定连接有万向轮,所述底板底部的中部固定连接有垂直板,所述垂直板正面的底部通过转轴转动连接有主轮体,所述主轮体正面的中部固定连接有传动底杆,所述底板底部左侧的中部固定连接有固定板,所述固定板的正面转动连接有传动顶杆。该半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉操作简单,实用性强,万向轮、垂直板、主轮体、传动底杆、推手把体、固定板、传动顶杆、传送带、方形块、双轴电机、伸缩杆和方形槽的使用有利于装置的移动,风机、氧化炉本体、加热板、出风弯管、入料管和排料管的使用实现了半导体材料的氧化加工。

技术领域

本实用新型涉及氧化炉技术领域,具体为一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉。

背景技术

半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料,是未来信息科技发展的主要原材料之一,现有的半导体材料在生产地过程中,常常需要用氧化炉进行高温氧化,但现有的氧化炉移动不便,在需要氧化炉进行移动时,往往会耗费大量的人力物力,不利于生产的正常进行。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉,解决了现有装置结构不完善的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉,包括底板,所述底板底部的四角均通过支撑杆固定连接有万向轮,所述底板底部的中部固定连接有垂直板,所述垂直板正面的底部通过转轴转动连接有主轮体,所述主轮体正面的中部固定连接有传动底杆,所述底板底部左侧的中部固定连接有固定板,所述固定板的正面转动连接有传动顶杆,所述传动顶杆的外侧通过传送带传动连接在传动底杆的外侧,所述传动顶杆的正面固定连接有方形块,所述底板底部左侧的正面通过连接块固定连接有双轴电机,所述双轴电机背面输出轴的背面固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆的背面开设有方形槽,所述双轴电机正面输出轴的正面固定连接有风机,所述风机的顶部通过连接块固定连接在底板的底部,所述底板顶部中部的四角均通过支撑腿固定连接有氧化炉本体,所述氧化炉本体内侧的底部固定连接有加热板,所述风机正面的底部连通有出风弯管,所述出风弯管的另一端贯穿底板并连通在氧化炉本体的底部。

进一步优选的,所述主轮体的底部与万向轮的底部均位于同一水平面。

进一步优选的,所述底板顶部的左侧固定连接有推手把体。

进一步优选的,所述方形块与方形槽相对应。

进一步优选的,所述氧化炉本体的顶部连通有入料管。

进一步优选的,所述氧化炉本体右侧的底部连通有排料管。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉,具备以下有益效果:

(1)该半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉操作简单,实用性强,万向轮、垂直板、主轮体、传动底杆、推手把体、固定板、传动顶杆、传送带、方形块、双轴电机、伸缩杆和方形槽的使用有利于装置的移动。

(2)风机、氧化炉本体、加热板、出风弯管、入料管和排料管的使用实现了半导体材料的氧化加工。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型背视结构示意图;

图3为本实用新型正面剖视图。

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