[实用新型]一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉

权利要求书

1.一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)底部的四角均通过支撑杆固定连接有万向轮(2)，所述底板(1)底部的中部固定连接有垂直板(3)，所述垂直板(3)正面的底部通过转轴转动连接有主轮体(4)，所述主轮体(4)正面的中部固定连接有传动底杆(5)，所述底板(1)底部左侧的中部固定连接有固定板(7)，所述固定板(7)的正面转动连接有传动顶杆(8)，所述传动顶杆(8)的外侧通过传送带(9)传动连接在传动底杆(5)的外侧，所述传动顶杆(8)的正面固定连接有方形块(10)，所述底板(1)底部左侧的正面通过连接块固定连接有双轴电机(11)，所述双轴电机(11)背面输出轴的背面固定连接有伸缩杆(12)，所述伸缩杆(12)的背面开设有方形槽(13)，所述双轴电机(11)正面输出轴的正面固定连接有风机(14)，所述风机(14)的顶部通过连接块固定连接在底板(1)的底部，所述底板(1)顶部中部的四角均通过支撑腿固定连接有氧化炉本体(15)，所述氧化炉本体(15)内侧的底部固定连接有加热板(16)，所述风机(14)正面的底部连通有出风弯管(17)，所述出风弯管(17)的另一端贯穿底板(1)并连通在氧化炉本体(15)的底部。

2.根据权利要求1所述的一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉，其特征在于：所述主轮体(4)的底部与万向轮(2)的底部均位于同一水平面。

3.根据权利要求1所述的一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉，其特征在于：所述底板(1)顶部的左侧固定连接有推手把体(6)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉，其特征在于：所述方形块(10)与方形槽(13)相对应。

5.根据权利要求1所述的一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉，其特征在于：所述氧化炉本体(15)的顶部连通有入料管(18)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉，其特征在于：所述氧化炉本体(15)右侧的底部连通有排料管(19)。