[实用新型]一种半导体自动寻边定位装置

说明书

本实用新型提供一种半导体自动寻边定位装置，包括底座，用于支撑整个装置；夹具模组，设置在所述底座上，用于支撑固定半导体；定位模组，设置在所述底座上，用于移动所述夹具模组；传感器模组，设置在所述底座上，用于检测所述半导体位置；控制模组，设置在所述底座上，用于控制所述定位模组和所述夹具模组。本实用新型的有益效果是有效的解决机械手无法固定硅片的方向，转移到另一载台上时会产生硅片定位不精确、偏心或缺口方向不固定以及装置只能对应一种型号硅片且需要人手动操作、不能精准的确定硅片的中心点和缺口位置，普通传感器对于硅片的中心点确认也不精确的问题。

技术领域

本实用新型属于硅片搬运领域，尤其是涉及一种半导体自动寻边定位装置。

背景技术

半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的原件材料，很多电子产品均采用硅片这一半导体材料来处理信息。在行业中一般通过缺口来确定硅片的位置，从而实现硅片寻边，硅片在制作过程中需要频繁地将硅片在不同机器与片盒之间进行转移，机械手代替人工进行硅片转移工作，避免了一定的不可控因素，但是由于机械手无法固定硅片的方向，转移到另一载台上时会产生硅片定位不精确、偏心或缺口方向不固定的问题。

现有技术中，提供了一种寻边定位装置，但是需要人手动操作，不能精准的确定硅片的中心点和缺口位置；且普通传感器对于硅片的中心点确认也不精确。

发明内容

本实用新型要解决的问题是提供一种半导体自动寻边定位装置，有效的解决机械手无法固定硅片的方向，转移到另一载台上时会产生硅片定位不精确、偏心或缺口方向不固定以及装置只能对应一种型号硅片且需要人手动操作、不能精准的确定硅片的中心点和缺口位置，普通传感器对于硅片的中心点确认也不精确的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种半导体自动寻边定位装置，包括：底座，用于支撑整个装置；夹具模组，设置在所述底座上，用于支撑固定半导体；定位模组，设置在所述底座上，用于移动所述夹具模组；传感器模组，设置在所述底座上，用于检测所述半导体位置；控制模组，设置在所述底座上，用于控制所述定位模组和所述夹具模组。

优选地，所述夹具模组包括夹爪和支撑台，所述支撑台设置在所述底座顶部，用于支撑所述半导体；所述夹爪设置在所述支撑台的边缘处，用于固定所述半导体。

优选地，所述支撑台上还设置一用于防止所述半导体磨损的垫片，设置在所述支撑台表面。

优选地，所述夹具模组还包括用于移动所述夹爪的第一驱动机构，设置在所述夹爪底部。

优选地，所述第一驱动机构为气缸。

优选地，所述定位模组包括第二驱动机构和第三驱动机构，所述第二驱动机构设置在所述夹具模组底部，用于旋转所述夹具模组；所述第三驱动机构设置在所述夹具模组底部，用于移动所述夹具模组。

优选地，所述第二驱动机构为旋转电缸；所述第三驱动机构为XY移动电缸。

优选地，所述传感器模组包括半导体传感器和激光定位传感器，所述半导体传感器设置在所述夹具模组边缘处，用于检测半导体是否处于夹具模组上；所述激光定位传感器设置在所述夹具模组边缘处，用于半导体定位寻边。

优选地，所述传感器模组还包括一用于读取所述半导体编码的读码器，设置在所述夹具模组边缘处。

优选地，所述控制模组包括PLC控制器，设置在所述底座顶部，用于控制所述定位模组和所述夹具模组。