[实用新型]一种半导体自动寻边定位装置有效

专利信息
申请号: 202022530841.7 申请日: 2020-11-05
公开(公告)号: CN213212137U 公开(公告)日: 2021-05-14
发明(设计)人: 李伦;张淳;齐风;戴超;张丰;王彦君 申请(专利权)人: 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 300384 天津市滨海*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 自动 定位 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体自动寻边定位装置,包括:

底座,用于支撑整个装置;

夹具模组,设置在所述底座上,用于支撑固定半导体;

定位模组,设置在所述底座上,用于移动所述夹具模组;

传感器模组,设置在所述底座上,用于检测所述半导体位置;

控制模组,设置在所述底座上,用于控制所述定位模组和所述夹具模组。

2.根据权利要求1所述的一种半导体自动寻边定位装置,其特征在于:所述夹具模组包括夹爪和支撑台,所述支撑台设置在所述底座顶部,用于支撑所述半导体;所述夹爪设置在所述支撑台的边缘处,用于固定所述半导体。

3.根据权利要求2所述的一种半导体自动寻边定位装置,其特征在于:所述支撑台上还设置一用于防止所述半导体磨损的垫片,设置在所述支撑台表面。

4.根据权利要求2所述的一种半导体自动寻边定位装置,其特征在于:所述夹具模组还包括用于移动所述夹爪的第一驱动机构,设置在所述夹爪底部。

5.根据权利要求4所述的一种半导体自动寻边定位装置,其特征在于:所述第一驱动机构为气缸。

6.根据权利要求1所述的一种半导体自动寻边定位装置,其特征在于:所述定位模组包括第二驱动机构和第三驱动机构,所述第二驱动机构设置在所述夹具模组底部,用于旋转所述夹具模组;所述第三驱动机构设置在所述夹具模组底部,用于移动所述夹具模组。

7.根据权利要求6所述的一种半导体自动寻边定位装置,其特征在于:所述第二驱动机构为旋转电缸;所述第三驱动机构为XY移动电缸。

8.根据权利要求1所述的一种半导体自动寻边定位装置,其特征在于:所述传感器模组包括半导体传感器和激光定位传感器,所述半导体传感器设置在所述夹具模组边缘处,用于检测半导体是否处于夹具模组上;所述激光定位传感器设置在所述夹具模组边缘处,用于检测所述半导体位置。

9.根据权利要求8所述的一种半导体自动寻边定位装置,其特征在于:所述传感器模组还包括一用于读取所述半导体编码的读码器,设置在所述夹具模组边缘处。

10.根据权利要求1-9任一所述的一种半导体自动寻边定位装置,其特征在于:所述控制模组包括PLC控制器,设置在所述底座顶部,用于控制所述定位模组和所述夹具模组。

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