[实用新型]一种芯片放置盘的托举机构有效
| 申请号: | 202022528085.4 | 申请日: | 2020-11-04 |
| 公开(公告)号: | CN212725264U | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
| 发明(设计)人: | 李旭峰;罗森 | 申请(专利权)人: | 达特电子(上海)有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人: | 成丽杰 |
| 地址: | 200231 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 芯片 放置 托举 机构 | ||
本实用新型公开了一种芯片放置盘的托举机构,属于自动化设备技术领域。主要包括连接在基板上的导向组件以及分别位于导向组件两侧的第一托举组件和第二托举组件,第一托举组件包括第一滑板以及第一驱动器,第二托举组件包括第二滑板以及第二驱动器,第一滑板和第二滑板对称且可滑动地设置在导向组件的两侧,第一驱动器设置在基板上并与第一滑板驱动连接,第二驱动器设置在基板上并第二滑板驱动连接。本实用新型的一种芯片放置盘的托举机构,结构紧凑、成本低。
技术领域
本实用新型涉及自动化设备技术领域,具体涉及一种芯片放置盘的托举机构。
背景技术
芯片的生产、加工流程中,常用到芯片放置盘对芯片进行批量转移,且芯片放置盘的移动需尽可能地平稳;芯片放置盘的托举机构是用于在竖直方向上对芯片放置盘进行移动,旧有芯片放置盘的托举机构通过电机或气缸沿竖直方向提供轴向运动,并且托举机构中每个运动机构独立设置有运动导向组件,因此体积大、产品成本高。
所以有必要提供一种芯片放置盘的托举机构解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题:提供一种结构紧凑的芯片放置盘的托举机构,缩小体积、降低成本。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下所述的技术方案是:一种芯片放置盘的托举机构,包括基板;所述托举机构还包括连接在基板上的导向组件以及分别位于导向组件两侧的第一托举组件和第二托举组件,所述第一托举组件包括第一滑板和第一驱动器,所述第二托举组件包括第二滑板和第二驱动器,所述第一滑板和第二滑板对称且可滑动地设置在导向组件的两侧,所述第一驱动器设置在基板上并与第一滑板驱动连接,所述第二驱动器设置在基板上并与第二滑板驱动连接。
进一步的,所述导向组件包括设置在基板底部的安装块以及设置在安装块两侧的导轨。
进一步的,所述第一托举组件还包括安装于第一滑板上并滑动连接在安装块一侧导轨上的第一滑块。
进一步的,所述导轨为燕尾型导轨。
进一步的,所述第二托举组件还包括第二滑块,所述第二滑块滑动连接在与第一滑块相反一侧的导轨上。
进一步的,所述第一滑板上安装有丝杆螺母,所述第一驱动器包括连接在基板上的旋转执行器以及设置在旋转执行器输出轴上的丝杆,所述丝杆配合插设在丝杆螺母上。
进一步的,所述旋转执行器为电机。
进一步的,所述第二驱动器包括连接在基板上的直线执行器,所述直线执行器的输出端与第二滑板相连。
进一步的,所述直线执行器为气缸。
进一步的,所述芯片放置盘的托举机构还包括逐个固定安装于第一滑板以及第二滑板两侧的推板。
本实用新型的有益技术效果是:本实用新型的一种芯片放置盘的托举机构,其中第一托举组件和第二托举组件设置于基板上导向组件的两侧,第一托举组件中的第一滑板和第二托举组件中的第二滑板均活动连接于同一导向组件上,第一滑板和第二滑板分别由第一驱动器和第二驱动器驱动,因此第一托举组件和第二托举组件不仅可独立运行,同时结构紧凑、成本低。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
图中:图1为本实用新型的一种芯片放置盘的托举机构的示意图;
图2为图1中导向组件的结构示意图;
图3为第一托举组件的爆炸图;
图4为第二托举组件的爆炸图;
图中:
100、基板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





