[实用新型]一种芯片放置盘的托举机构有效

专利信息
申请号: 202022528085.4 申请日: 2020-11-04
公开(公告)号: CN212725264U 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 李旭峰;罗森 申请(专利权)人: 达特电子(上海)有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 代理人: 成丽杰
地址: 200231 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 放置 托举 机构
【权利要求书】:

1.一种芯片放置盘的托举机构,包括基板(100),其特征在于:所述托举机构还包括连接在基板(100)上的导向组件(200)以及分别位于导向组件(200)两侧的第一托举组件(300)和第二托举组件(400),所述第一托举组件(300)包括第一滑板(310)和第一驱动器(330),所述第二托举组件(400)包括第二滑板(410)和第二驱动器(430),所述第一滑板(310)和第二滑板(410)对称且可滑动地设置在导向组件的两侧,所述第一驱动器(330)设置在基板(100)上并与第一滑板(310)驱动连接,所述第二驱动器(430)设置在基板(100)上并与第二滑板(410)驱动连接。

2.根据权利要求1所述的一种芯片放置盘的托举机构,其特征在于:所述导向组件(200)包括设置在基板(100)底部的安装块(210)以及设置在安装块(210)两侧的导轨(220)。

3.根据权利要求2所述的一种芯片放置盘的托举机构,其特征在于:所述第一托举组件(300)还包括安装于第一滑板(310)上并滑动连接在安装块(210)一侧导轨(220)上的第一滑块(320)。

4.根据权利要求2所述的一种芯片放置盘的托举机构,其特征在于:所述导轨(220)为燕尾型导轨。

5.根据权利要求3所述的一种芯片放置盘的托举机构,其特征在于:所述第二托举组件(400)还包括第二滑块(420),所述第二滑块(420)滑动连接在与第一滑块(320)相反一侧的导轨(220)上。

6.根据权利要求1所述的一种芯片放置盘的托举机构,其特征在于:所述第一滑板(310)上安装有丝杆螺母(311),所述第一驱动器(330)包括连接在基板(100)上的旋转执行器(331)以及设置在旋转执行器(331)输出轴上的丝杆(332),所述丝杆(332)配合插设在丝杆螺母(311)上。

7.根据权利要求6所述的一种芯片放置盘的托举机构,其特征在于:所述旋转执行器(331)为电机。

8.根据权利要求1所述的一种芯片放置盘的托举机构,其特征在于:所述第二驱动器(430)包括连接在基板(100)上的直线执行器(431),所述直线执行器(431)的输出端与第二滑板(410)相连。

9.根据权利要求8所述的一种芯片放置盘的托举机构,其特征在于:所述直线执行器(431)为气缸。

10.根据权利要求1所述的一种芯片放置盘的托举机构,其特征在于:所述芯片放置盘的托举机构还包括逐个固定安装于第一滑板(310)以及第二滑板(410)两侧的推板(500)。

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