[实用新型]一种光伏硅片自动化镀水膜装置有效
| 申请号: | 202022505716.0 | 申请日: | 2020-11-03 |
| 公开(公告)号: | CN213026063U | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
| 发明(设计)人: | 宁利军 | 申请(专利权)人: | 苏州煊能自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 苏州集律知识产权代理事务所(普通合伙) 32269 | 代理人: | 安纪平;黄建月 |
| 地址: | 215200 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 硅片 自动化 镀水膜 装置 | ||
1.一种光伏硅片自动化镀水膜装置,其特征在于,包括:镀膜机(1)、水洗箱(4)、风机箱(10)、镀膜箱(21)、干燥箱(14),所述镀膜箱(21)的内固定连接有镀膜液箱(11),所述镀膜液箱(11)内壁的底部固定连接有有微型双轴电机(33),所述微型双轴电机(33)两个输出轴的一端均固定连接有转动杆(31),所述转动杆(31)的外部固定连接有四个连接杆(34),四个所述连接杆(34)上下两两固定连接在转动杆(31)的外部,上下两两固定的四个所述连接杆(34)的一端均固定连接有出水塞(32),所述镀膜液箱(11)底部两个槽的底部均固定连接有定量注料管(36),所述定量注料管(36)的底部螺纹连接有雾化喷料头(35),所述镀膜液箱(11)的顶部固定连接有注料管(12)。
2.根据权利要求1所述的光伏硅片自动化镀水膜装置,其特征在于,所述水洗箱(4)的内部固定连接有水箱(7),所述水箱(7)的底部固定连接有三个洒水喷头(6),所述水箱(7)顶部的一侧固定连接有循环注水管(5),所述水箱(7)顶部的另一侧固定连接有注水管(8)。
3.根据权利要求1所述的光伏硅片自动化镀水膜装置,其特征在于,所述干燥箱(14)内壁的两侧均固定连接有电动伸缩杆(13),所述电动伸缩杆(13)的一端固定连接有密封板(16),所述干燥箱(14)内壁的底部固定连接有有干燥射灯(15)。
4.根据权利要求1所述的光伏硅片自动化镀水膜装置,其特征在于,所述风机箱(10)的内部固定连接有风机(9)所述风机(9)的底部固定连接有出风管(22),所述风机箱(10)底部的两侧均固定连接有除水刷(23)。
5.根据权利要求1所述的光伏硅片自动化镀水膜装置,其特征在于,所述镀膜机(1)内壁底部的一侧固定连接有增高垫块(20),所述增高垫块(20)的顶部固定连接有传动电机(18),所述传动电机(18)输出轴的外部固定连接有第一转轴(17),所述镀膜机(1)内壁的两侧之间转动连接有第二转轴(26),所述第一转轴(17)与第二转轴(26)的外表面传动连接有传动带(25)。
6.根据权利要求1所述的光伏硅片自动化镀水膜装置,其特征在于,所述镀膜机(1)内壁的底部开设的槽中固定连接有漏水网(24),所述漏水网(24)的底部固定连接有第一输水管(27)。
7.根据权利要求1所述的光伏硅片自动化镀水膜装置,其特征在于,所述镀膜机(1)的一侧固定连接有水泵(28),所述水泵(28)的出水口固定连接有第二输水管(29),所述镀膜机(1)的背面且位于风机(9)的位置固定连接有散热格网(30),所述镀膜机(1)的底部固定连接有两个支撑脚(19)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





