[实用新型]一种晶圆裁切下料机构

权利要求书

1.一种晶圆裁切下料机构，其特征在于：包含机架（10），以及设置在机架（10）上的裁切机构（3）、下料机构（4）和排废机构（5）；所述裁切机构（3）包含裁切支架（31）、增压缸（32）、裁切导向架（33）、裁切上模具（34）和裁切下模具（35），增压缸（32）和裁切导向架（33）设置在裁切支架（31）的上部，裁切下模具（35）设置在裁切支架（31）的下部，裁切上模具（34）与裁切导向架（33）配合，增压缸（32）带动裁切上模具（34）运动，使其与裁切下模具（35）配合，对晶圆进行裁切；所述下料机构（4）包含下料支架（41）、下料升降组件（42）、翻转底座（43）和翻转台（44），下料升降组件（42）带动翻转底座（43）升降，翻转台（44）的下侧设置有翻转连接臂（45），翻转连接臂（45）的中部铰接在翻转底座（43）上，下料支架（41）上设置有翻转止挡部件（46），翻转止挡部件（46）与翻转台（44）或翻转连接臂（45）配合；所述排废机构（5）包含排废支架（51）、排废横移组件（52）、夹爪气缸（53）、排废夹爪（54）和排废移动感应支架（55），排废横移组件（52）设置在排废支架（51）上，排废横移组件（52）带动夹爪气缸（53）和排废移动感应支架（55）同步移动，排废移动感应支架（55）用于安装位置传感部件，夹爪气缸（53）带动排废夹爪（54）开合。

2.根据权利要求1所述的晶圆裁切下料机构，其特征在于：所述裁切支架（31）的底部和裁切下模具（35）均为中空结构，使裁切后的晶圆可以直接落在下方的下料机构（4）上。

3.根据权利要求1所述的晶圆裁切下料机构，其特征在于：所述裁切支架（31）上还设置有裁切高度传感支架（36），裁切高度传感支架（36）与裁切导向架（33）配合。

4.根据权利要求1所述的晶圆裁切下料机构，其特征在于：所述翻转底座（43）与翻转台（44）或翻转连接臂（45）通过复位部件配合。

5.根据权利要求1所述的晶圆裁切下料机构，其特征在于：所述翻转止挡部件（46）为滚轮。